603690至纯科技股票走势分析
≈≈至纯科技603690≈≈(更新:22.02.15)
[2022-02-15] 至纯科技(603690):至纯科技公司晶圆再生于去年下半年建成投产 下游客户需求较旺盛
■证券时报
至纯科技(603690)在互动平台表示，公司晶圆再生于去年下半年建成投产，目前已陆续接到客户订单并稳步推进中，目前价格走势相对平稳，下游客户需求较旺盛。
[2022-02-08] 至纯科技(603690):至纯科技出资1000万元参与投资小苗朗锐投资基金
■证券时报
至纯科技(603690)2月8日晚间公告，公司作为有限合伙人出资1000万元参与上海紫竹小苗朗锐私募投资基金合伙企业(有限合伙)(简称“小苗朗锐”)。小苗朗锐基金募集规模为3亿元，主要投资于战略新兴产业，包括新一代信息技术、节能环保、生物健康、高端制造、新材料、新能源及新能源汽车、高技术服务、前沿科技等。
[2021-12-23] 至纯科技(603690):至纯科技第100台湿法设备顺利出机
■证券时报
记者获悉，近日，至纯科技第100台湿法设备，12寸单片清洗机台顺利出机。此次，12月中旬的交机中，恰逢累积第100台湿法设备出机。
[2021-12-11] 至纯科技(603690):公司技术路线对标国际大厂SCREEN,有望成为高端湿法设备的领先者-系列跟踪报告之二
■光大证券
单片清洗未来在半导体清洗设备中的核心地位将日益凸显。半导体清洗设备可分为干法清洗设备和湿法清洗设备,目前90％以上的清洗步骤以湿法工艺为主。
湿法清洗设备又分为槽式清洗和单片清洗,其中槽式清洗设备一般一次清洗约30-50片晶圆,清洗量大但容易交叉污染,随着先进制程的不断推进,其颗粒去除效率(PRE)较低,逐步被单片清洗设备取代;单片清洗设备主要分为单片清洗机、单片刷片机和单片刻蚀机,其颗粒去除效率(PRE)较高,其中单片清洗机的目的是清洗颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物,单片刷洗设备一般为物理清洗,目的是去除表面颗粒,主要用于CMP后清洗,单片刻蚀设备主要用于膜层的轻度刻蚀。随着先进制程的不断推进,特别是28nm及以下工艺,单片清洗设备将全面取代槽式清洗,配备8-12-16腔,核心地位日益凸显。
纳米喷淋是国际上单片湿法清洗设备的主流技术路线。目前单片湿法清洗技术主要分为纳米喷淋清洗(NanoSpray)、兆声波清洗(Megasonic)和刷子清洗(Brush)三种,前两者建立在旋转喷淋(SpinSpray)的技术上。2020年全球半导体清洗设备市场基本上被日本SCREEN、日本TEL、韩国SEMES和美国LAM垄断,销售额占比分别为45.1％、25.3％、14.8％和12.5％,合计占比97.7％,国内厂商话语权较弱。头部大厂日本SCREEN是最早开发和使用NanoSpray技术的设备厂商,2010年后其更新升级后的NanoSpray2和NanoSpray3技术进一步提升了芯片的良率,是目前国际上主流的清洗技术。至纯科技单片清洗技术对标日本SCREEN,采用NanoSpray方案。
至纯科技采用国际主流清洗技术NanoSpray,能提供全部28nm节点湿法设备。
至纯科技采用先进的NanoSpray技术,目前已经可以提供28nm节点的全部半导体湿法工艺设备,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客?产线,另外在更先进的14-7nm技术世代已经接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客?产线验证。我们预计公司2021-2022年半导体湿法设备订单可达12/20亿元,对应清洗设备收入分别为7.68/13.90亿元,其中单片清洗设备收入在湿法设备总营收中的占比分别为40.10％/50.36％,占比正在快速提升中。
盈利预测、估值与评级:至纯科技是国内半导体湿法设备的龙头,随着公司国内一线客?的不断导入和验证以及单片清洗设备的逐步放量,公司有望迎来快速发展期。我们维持至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元,当前市值对应的PE分别为49x、44x、30x,维持"买入"评级。
风险提示:国产化进度不及预期,晶圆厂扩张不及预期,技术研发不及预期。
[2021-12-07] 至纯科技(603690):至纯科技以1.5亿元参投海河至汇合伙企业
■证券时报
至纯科技(603690)12月7日晚间公告，公司出资1.5亿元参与投资天津海河至汇光电创业投资合伙企业(有限合伙)(简称“海河至汇”)，海河至汇的认缴出资总额为3.8亿元，存续期内可增至不超过12亿元，主要投向光电子及泛半导体相关领域。
[2021-11-13] 至纯科技(603690):中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期-首次覆盖报告
■光大证券
至纯科技是中国半导体清洗设备龙头企业。公司的主营业务主要包括半导体湿法清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让,交易完成后,战略投资者持有至微科技的比例约22％,增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2021年前三季度实现营业收入12.83亿元,同比增长68.71％;实现归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％。中国半导体清洗设备市占率极低,国产替代空间巨大。根据Gartner统计数据,2024年预计全球半导体清洗设备市场销售额达31.93亿美元,清洗设备在全球半导体设备的市场销售额占比约为5-7％。2020年全球半导体清洗设备市场基本上被日本SREEN、日本TEL、韩国SEMES和美国LAM垄断,市场销售额合计占比97.7％,国产厂商至纯科技、盛美中国、北方华创、芯源微等份额较低。
半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备,包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上,主要为存储(DRAM,3DFlash)、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。2021年上半年,至纯的湿法设备业务新增订单达4.3亿元,其中单片设备2亿元。湿法清洗设备业务20年收入为2.2亿元,我们预计21-22年收入为7.68亿元和13.90亿元。
半导体高纯工艺系统将保持平稳增长。泛半导体工艺伴随许多种特殊制程,会使用到大量超高纯(ppt级别)的干湿化学品,这是完成工艺成果的重要介质,其特点是昂贵并伴随废气液排放。在集成电路领域,高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中,各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备,各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。目前公司高纯工艺系统客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士,三星,台积电,力晶等。盈利预测、估值与评级。至纯科技是国内高纯工艺系统的龙头,目前湿法设备进展顺利,有望成为国内高端湿法设备的领先者,随着公司一线客户的不断扩张以及下游需求的持续增长,公司有望迎来快速发展。我们预测至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元,当前市值对应的PE分别为51x、46x、32x,首次覆盖给予"买入"评级。
风险提示:国产化进度不及预期,晶圆厂扩张不及预期,技术研发不及预期。
[2021-11-05] 至纯科技(603690):盈利能力稳步提升,湿法清洗设备加速发展-三季点评
■国联证券
事件:公司发布2021三季报,实现收入12.83亿元,同比增长68.71％,归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％,扣非净利润8,052.68万元,同比增长97.55％。三季度单季实现收入3.62亿元,同比增长51.68％,归母净利润3771.54万元,同比下降27.72％。
点评:
子公司收入确认存在季节性波动,湿法设备订单持续高增长
公司前三季度的快速增长,主要源自于国内半导体产业高景气度带动的高纯业务与湿法清洗设备订单快速增长。三季度来看,由于子公司波汇收入确认存在季节性波动,一般收入确认集中在二、四季度,上半年同期波汇收入确认提前,导致同比经营数据下滑。毛利率方面,三季度毛利率达46.9％,同比、环比分别提升7.4、19.6个百分点,我们认为系公司高毛利湿法清洗设备占公司业务占比逐步提高。根据公司数据公布,截止至三季度末湿法部门已实现收入4.52亿元,收入占比达35％。
持续加码湿法清洗设备,国产替代助力加速发展
目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。伴随大基金二期、中芯聚源等国内顶级半导体产业基金入股至微,国产替代逻辑下公司湿法清洗设备进入加速发展期。
盈利预测与评级
维持对公司的盈利预测,预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元,看好公司半导体清洗设备的持续放量,维持"增持"评级。
风险提示
高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。
[2021-11-04] 至纯科技(603690):新签订单持续增长,湿法设备加速放量-三季点评
■中信建投
事件
10月29日盘后,公司发布三季报,前三季度实现营收12.83亿元,同比增长68.71％;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％。扣非净利润为0.81亿元,同比增长97.55％。
简评
一、营收净利润双增长,新签订单持续增长1)2021年1-9月营业收入12.83亿元,较上年同期增加约5.23亿元,主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加所致;2)公司扣非净利润为0.81亿元,同比增长97.55％。归母净利润1.88亿元,扣非净利润为0.81亿元,主要系公司收入规模整体增加、公允价值变动损益及补贴收入增加所致;3)Q3营业收入3.62亿元,同比增长51.68％,环比下降47.48％,归母净利润为0.38亿元,同比下降27.72％,环比下降50.06％,主要由于子公司波汇季节性收入确定高峰一般在Q2/Q4,而去年同期确认收入提前,导致公司利润略有波动。4)在手订单饱满,其中上半年公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元,下半年随着公司认证进度加快,新增订单保持高增长。
二、重心发展湿法设备,覆盖28nm节点全部湿法工艺
至微科技主要负责湿法设备及晶圆再生服务业务,湿法设备业务保持健康增长势头,晶圆再生业务已于2021年7月正式量产,有望在2021年度贡献2个月度的产值。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重,单片机占新增订单达到50％以上,目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。
三、拟发行可转债不超过11亿元,横纵拓展设备及零部件品类
本次拟发行可转债总额不超过人民币11亿元,其中3.5亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目,2.5亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目,1.7亿元用于半导体设备模组及部件制造项目,3.3亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款。近期公司控股子公司至微科技增资扩股引进战略投资,以及此次非拟发行可转债,主要目的为:1)将针对14nm及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发,有助于满足14nm及以下高阶工艺节点的需求,提升在高宽深比条件下的湿法工艺模块研发能力,实现整机产品在14nm及以下的逻辑芯片及1Xnm存储芯片、以及特殊工艺的制造应用,提高公司半导体核心零部件研发水平,巩固公司在国内的半导体湿法设备及关键零部件行业领先地位。2)公司现有的半导体湿法清洗设备28nm的研发及生产的技术积累(包括湿法去胶、刻蚀、清洗、刷洗),拟在北京亦庄设立湿法设备、半导体零部件及高纯工艺系统北方产业制造基地,有助于扩大公司产品品类和生产规模、增强公司产品下游应用领域,3)拟在海宁实施半导体模组及部件制造项目,项目的顺利实施利于推动我国关键半导体零部件进口替代,利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。
四、国产化路径清晰,给予"买入"评级
公司作为本土半导体清洗设备领先企业,在集成电路领域,公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代包括半导体湿法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务的能力;在光电子领域,公司依赖强劲的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向,积极在国内拓展业务应用领域,保持在市场上领先的竞争地位。我们预计2021-2023年营收为19.77/26.09/33.14亿元,对应归母净利润3.25/5.37/6.92亿元,EPS,0.84/1.38/1.78元/股,对应PE57/34/27X,基于公司单片湿法设备进入放量期,以及国内晶圆厂建设进入高峰期,以2022年50XPE给予6个月目标价68.19元/股,给予"买入"评级。
风险提示:1)先进制程工艺突破不达预期;2)零部件进口受阻
行业催化剂:1)景气度上行;2)客户资本开支提升
[2021-11-01] 至纯科技(603690):业绩符合预期,大基金二期拟入股子公司-2021年三季报业绩点评
■上海证券
事件
公司发布2021年三季报,前三季度实现营收12.83亿元,同比增长68.71％;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％;扣非归母净利润0.81亿元,同比增长97.55％。其中,Q3单季实现收入3.62亿元,同比增长51.68％;归母净利润0.38亿元,同比下滑27.72％;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76％。收入增长主要是集成电路产业景气带来高纯工艺系统业务及半导体清洗设备业务订单大幅增加所致。
点评
毛利率与研发费用率同比提升,非经常性损益导致Q2归母净利下滑Q3单季毛利率为46.89％,较去年同期提升7.42个百分点,带动前三季度毛利率较上半年提升4.52个百分点至35.39％。Q3单季研发费用为0.22亿元,同比增长100％,占收入比重为5.96％,较去年同期提升1.33个百分点。Q3非经常性损益项目金额为-17.6万元,而去年同期为3663.6万元,导致归母净利润同比下滑27.72％。从费用率来看,销售费用、管理费用、财务费用分别较去年同期提升0.62个百分点、降低0.58个百分点、降低1.97个百分点。受益于订单增长,Q3末存货较上半年末增加3.57亿元。
半导体湿法清洗设备又拓展新客户,高阶工艺设备已获取正式订单公司能提供到28nm节点全部湿法工艺,槽式设备及单片式设备均能满足8-12寸晶圆制造的湿法工艺需求,已切入中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等一线用户,今年上半年又开拓了绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等新客户。在技术储备上,公司持续开发符合高阶工艺应用的设备(如多反应腔、18腔等),在14nm-7nm技术方面已接到4台订单,预计将于2022年交至客户产线进行验证。上半年湿法设备新增订单4.3亿元,达到去年全年湿法设备订单的85％;其中,单片设备新增订单2亿元,下半年将有8台12寸单片设备交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。
大基金二期拟入股子公司至微科技,湿法清洗设备发展有望提速大基金二期、国有企业混改基金、上海半导体装备材料基金等多家机构拟向至纯科技控股子公司至微科技合计增资4.2亿元,本次增资及股权转让完成后,至纯科技持股降至77.11％,仍为控股股东。子公司至微科技是承载至纯科技湿法设备研发和产业化的主体,累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台,成为国内湿法设备的主要供应商之一。引入战略投资者有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系,也有利于开拓新客户以及进一步寻求产业合作机会。
盈利预测
我们预计公司2021/2022/2023年归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,增速分别为8.5％/28.8％/18.7％,对应当前股价的PE分别为 53x/41x/35x。公司通过高纯工艺系统起家,和半导体一线厂商建立了良好合作关系,湿法清洗设备和高纯工艺系统业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升,公司估值也有望得到提升。在我国半导体产业面临外部打压背景下,国产替代是行业发展趋势,我们看好公司湿法设备成长性。未来六个月内,维持"买入"评级。?
风险提示
新产品拓展不及预期;行业竞争加剧;下游需求不及预期。
[2021-10-30] 至纯科技(603690):湿法设备订单大幅提高,有望步入加速成长期
■安信证券
事件:2021年10月29日,公司发布2021年三季度报告,今年前三季度营业总收入为12.83亿元,同比增长68.71％。归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％,扣非归母净利润8052.68万元,同比增长97.55％
Q3营收同比延续高成长,湿法设备订单大幅提高:从Q3单季度来看,公司实现营业收入约3.62亿元,同比增长51.68％,环比下滑52.54％;实现归母净利润约3772万元,同比下降27.72％,环比下降50％;扣非归母净利润3789万元,同比提高143.76％,环比接近持平。公司Q3收入同比延续高增长,环比有所下滑,其中环比下滑主要原因为受到确认节点波动影响。在订单方面,根据公司互动平台数据,截至三季报报告期内,公司湿法部门的目前订单已经超过8亿,其中新增单片设备订单超4亿元。根据公告,公司上半年新增湿法设备订单4.3亿元,其中单片设备订单2亿元,按此测算Q3单季度新增湿法订单超3.7亿元,其中单片设备订单超2亿元。Q3单季新增湿法设备订单接近上半年的体量,其中单片设备已经超过上半年体量,湿法设备发展步入加速成长期,有望成为公司业绩新增点。
大基金二期入股子公司,清洗设备有望加速发展:公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东,此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金,表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资,公司不仅增强了资金实力,还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作,公司半导体清洗设备发展有望加速。
湿法设备发展迅速,再生晶圆前景可期:目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主,而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告,公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面,据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。我们认为公司再生 晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产,产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元、27.18亿元、36.69亿元,归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10亿元、6.73亿元,对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元,维持"买入-A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期的风险;进口零部件渠道受阻的风险;出货放量不达预期的风险;股东解禁减持的风险
[2021-10-29] 至纯科技(603690):业绩符合预期,盈利能力提升-三季点评
■华安证券
事件:10月29日,公司发布三季报。前三季度实现营收12.83亿元,同比增长68.71％;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％;扣非归母净利润0.81亿元,同比增长97.55％。单Q3,实现营业收入3.62亿元,同比增长51.68％;归母净利润0.38亿元,同比增速-27.72％;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76％。
业绩符合预期,收入＆利润均实现高速增长
前三季度公司实现营收12.83亿元,yoy+68.71％,实现高速增长,主要系高纯系统业务及半导体设备业务快速扩张所致;归母净利润1.88亿元,yoy+127.96％,主要系公司收入规模整体规模及非经常性损益增加所致。单Q3,公司营业收入3.62亿元,同比增长51.68％;归母净利润0.38亿元,同比增速-27.72％,主要系相较于去年同期非经常性损益减少所致;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76％,扣非利润增速快于收入增速,主要系公司盈利能力提升,扣非后净利率提升。
盈利能力提升,彰显公司内部管控水平
前三季度公司销售毛利率35.39％,同比降低0.38pct;销售净利率14.42％,同比提高3.70pct;扣非后销售净利率6.28％,同比提升0.92pct。在毛利率基本不变的背景下,净利率与扣非后净利率均获得不同程度的增长,主要系期间费用率降低2.15pct,彰显公司内部管控水平。其中,销售费用率4.56％,同比降低0.04pct;管理费用率10.72％,同比降低0.79pct;研发费用率5.48％,同比降低0.69pct;财务费用率4.47％,同比降低0.71pct。下游需求旺盛,预期随着公司产品竞争力提升,叠加公司精益化管理,盈利水平有望持续提升。
发展战略清晰,各业务条线加快发展
①高纯工艺集成系统:集成电路产业景气拉动高纯工艺集成系统需求,并不断推出攻坚克难,半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)、干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)等订单陆续交货,收入规模有望持续增长。②湿法清洗设备:具备提供28nm节点的全部湿法工艺设备能力,进入到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线,与下游客户建立了良好合作关系。随着安徽合肥厂与江苏启东厂产能达产,公司清洗设备年产能可达140台,放量在即。③晶圆再生业务:7月已正式投产,运行情况良好,部分产品已送往下游客户进行验证。公司从工程配套系统业务逐渐转向设备、材料等核心业务,业务结构逐渐优化,是国内相关半导体企业转型典范,有望乘行业东风加速发展。
投资建议
预计公司2021-2023年EPS分别1.06/1.39/1.59元,对应PE44.60/34.23/29.84X。维持"增持"评级。
风险提示
下游晶圆厂资本开支不及预期,行业竞争加剧、全球贸易摩擦深化带来半导体全产业不确定性
[2021-10-22] 至纯科技(603690):大基金二期入股至微科技,产业助力清洗设备快速发展-事件点评
■国联证券
事件:公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元,股权转让涉及金额2.32亿元。本次交易完成前,公司持有至微科技的股份比例为99.34％,本次交易完成后,公司持有至微科技的股份比例为77.11％。
点评:
至微科技为公司湿法设备主体,产业基金增资助力加速发展
至微科技是公司湿法设备研发和产业化的主体,累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台,成为国内湿法设备的主要供应商之一。此次增资方包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等,涵盖国内顶级半导体产业基金,一方面是对公司清洗设备的肯定,另一方面也有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系,加强产业合作,加速公司设备的导入。同时,此次增资方之一芯晟至远执行事务合伙人为公司高管陆磊先生,参与此次增资也有利于激励公司管理层积极投入公司业务发展。
半导体业务进入快车道,先进湿法清洗设备持续获得验证后正式订单
清洗设备目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。同时晶圆再生项目7月已正式量产,有望在2021年贡献2个月度产值。
盈利预测与评级
维持对公司的盈利预测,预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元,看好公司半导体清洗设备的持续放量,维持"增持"评级。
风险提示
高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。
[2021-10-18] 至纯科技(603690):大基金二期入股子公司,清洗设备有望加速发展-事件点评
■安信证券
事件:公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元,股权转让涉及金额2.32亿元。本次增资的同时,公司将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95％的股权以2.32亿元转让给远致星火。本次交易完成后,公司持有至微科技的股份将从99.34％降低至77.11％。
大基金二期入股子公司,清洗设备有望加速发展:公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东,此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金,表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资,公司不仅增强了资金实力,还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作,公司半导体清洗设备发展有望加速。
半年报业绩符合预期,新增订单饱满:21H1,公司业绩大幅增长,主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2营收6.89亿元,同比增长68.87％,环比增长198.27％。毛利率及净利率分别-3.01pct/+10.68pct,系随着公司业务体量增长,增加了销售费用(+70.44％))、管理费用(+64.46％)及研发投入(+35.83％)。截至报告期末,公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。
湿法设备发展迅速,再生晶圆前景可期:根据公司公告,上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％,其中单片设备新增订单2亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主,而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告,公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面,据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产,产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元、27.18亿元、36.69亿元,归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10亿元、6.73亿元,对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元,维持"买入-A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期的风险;进口零部件渠道受阻的风险;出货放量不达预期的风险;股东解禁减持的风险。
[2021-10-18] 至纯科技(603690):至纯科技子公司拟增资扩股 引入大基金二期和混改基金等战略投资者
■上海证券报
至纯科技公告，为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业(有限合伙)、上海芯晟至远企业管理合伙企业(有限合伙)合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%的股权以2.32亿元转让给远致星火，其中4222.4万元计入至微科技注册资本，1.9亿元计入资本公积。本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例由99.34%降为77.11%。
[2021-09-15] 至纯科技(603690):至纯科技股东拟减持公司不超1.064%股份
■证券时报
至纯科技(603690)9月15日晚间公告，因支付发行股份购买资产相关税务的资金需求，股东赵浩自15个交易日后的6个月内拟通过集中竞价、大宗交易方式减持其所持有的股份不超过339万股，即不超过公司目前股份总数的1.0644%。
[2021-09-02] 至纯科技(603690):半导体业务稳步发展,打造装备及材料供应商-中期点评
■华安证券
事件:2021年8月31日,公司发布中报。上半年公司实现营收9.21亿元,同比增长76.51％;归母净利润1.51亿元,同比增长395.51％;扣非归母净利润0.43亿元,同比增长69.06％。单Q2,实现营业收入6.89亿元,同比增长68.85％;归母净利润0.76亿元,同比增长67.12％;扣非归母净利润0.40亿元,同比增速-7.34％。
上半年业绩符合预期,营收大幅增厚
上半年公司实现营收9.21亿元,yoy+76.51％,营收大幅增厚,主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加;归母净利润1.51亿元,yoy+395.51％,主要系公司收入规模整体增加、公司公允价值变动损益及补贴收入增加所致,上半年公司非经营损益合计1.08亿元,其中非流动资产处置损益1402万元、政府补助7802万元、金融资产公允价值变动4118万元。扣非归母净利润0.43亿元,yoy+69.06％。
在手订单充裕,业绩前瞻性指标屡创新高,奠定全年高增长公司在手订单充裕,半导体板块订单旺盛。截至2021年6月30日,公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达去年全年的88％,其中半导体板块订单旺盛,达14.2亿元,占比82.6％,公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。
业绩前瞻性指标存货、合同负债屡创新高,主要系公司业务规模增加。中报披露公司存货9.75亿元,同比增长39.5％,较年初增长22.7％,其中未完工项目4.11亿元,发出商品3328万元,合计占比45.57％,完成验收后将确认收入;合同负债2.52亿元,同比增长59.93％,较年初增长47.62％。业绩前瞻性指标屡创新高,印证了公司业务订单旺盛,奠定全年高增长。
各业务板块发展加快,产品端＆客户端均有所突破
(1)高纯工艺集成系统:新增订单9.8亿元,技术攻关顺利。①新增订单大幅增长主要系一线客户持续扩展产能。②技术攻关顺利,深化介质系统国产程度:公司新产品半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)、干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)等已顺利接到客户订单,并已启动半导体制程设备侧气体供应模块(IGS)的研发项目,随着研发进程的推进,公司高纯工艺集成系统业务板块将持续稳健增长。(2)湿法清洗设备:单片湿法设备认证顺利,新老客户订单不断突破。①单片设备认证顺利,工艺覆盖面再度拓宽:公司具备提供28nm节点的全部湿法工艺设备能力,重视12寸单片设备发展,目前首批单片设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备分别交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。②公司订单与客户同步突破:湿法设备新增订单达4.3亿元,达去年全年85％,其中单片设备2亿元。上半年新增订单中有17台套是中国大陆(中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技)以及中国台湾(力积电)等老客户的重复订单;11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。
(3)晶圆再生:7月已正式量产,有望推动再生晶圆国产化进程。公司晶圆再生项目有望在2021年度贡献2个月度的产值,随着该项业务突破,将有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题,推动半导体产业链材料端国产替代进程。
公司发展战略清晰,朝工艺装备及材料核心供应商稳步迈进
从发展战略来看,公司以高纯工艺集成系统起家,并以此为核心,不断沿产业链向上游延伸,切入半导体制造核心设备与半导体材料领域。我们认为公司从工程配套系统业务逐渐转向设备、材料等核心业务,业务结构逐渐优化,商业模式的变迁将改变公司产业链地位,打开成长空间。未来公司将从高纯工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商,并积极向部分细分新兴下游产业链延伸。
投资建议
预计公司2021-2023年EPS分别1.06/1.39/1.59元,对应PE47.39/36.37/31.70X。首次覆盖,给予"增持"评级。
风险提示
下游晶圆厂资本开支不及预期,行业竞争加剧、全球贸易摩擦深化带来半导体全产业不确定性
[2021-09-01] 至纯科技(603690):技术不断突破,订单高增长-中期点评
■长城国瑞证券
事件:公司发布2021年半年报,2021H1公司实现营业收入9.20亿元,同比增长76.51％;归属于上市公司股东的净利润1.50亿元,同比增长395.51％。
事件点评:
集成电路产业高景气驱动公司营收高增长,净利润高增长主要由非经常性损益贡献。2021H1公司实现营业收入9.20亿元,其中高纯工艺集成系统的营业收入为5.81亿元,同比增长53.40％;半导体设备的营业收入为2.69亿元,同比增长254.02％;光传感及光器件的营业收入为0.69亿元,同比增长2.76％。公司营业收入高增长,主要受益于集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加。据国家统计数据,今年上半年国内集成电路产量同比增长46.07％。2021H1,公司扣非后归母净利润为4,263.52万元,同比增长69.06％,非经常性损益为1.08亿元,其中计入当期损益的政府补助7,801.84万元,该项目主要包括光电子项目补助6,780万元。
高纯工艺系统业务板块多项目研发落地、放量在即。2021H1,至纯集成获得了9.8亿元的新增订单,高纯工艺系统多种产品放量在即。经过2020年的研发投入,半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)已研发完成,并接到核心客户的首台订单,将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段;今年上半年,干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)通过多个12寸半导体工厂验证,并在6个月内获得超过80台设备的订单;首个服务于12寸半导体的电子级大宗气工厂处于建设高峰中,主要设备开始搬入,预计在2021年3季度进入调试,年底投入运行。
12寸单片设备不断突破,晶圆再生项目量产。1)目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。上半年新增订单中有17台套是中国大陆(中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技)以及中国台湾(力积电)等老客户的重复订单;11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。湿法设备的研发仍在持续投入中,湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。2)公司重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整合,又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产,产能需要一定时间爬坡,有望在2021年度贡献2个月度的产值。
订单高增长,半导体设备处于快速发展阶段。公司整体业务新增订单17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。报告期新增订单中,整个半导体板块新增订单14.2亿元,超过去年13.6亿元的订单规模,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。
综合毛利率下降,下半年有望回升。公司综合毛利率为30.87％,较去年同期下降3.21Pct。高纯工艺集成系统毛利率31.34％,同比下降0.42Pct;半导体设备毛利率23.91％,同比下降5.9Pct,主要系低毛利产品占比提升,下半年产品结构调整后有望回升;光传感及光器件,毛利率53.13％,同比下降2.22Pct。
投资建议:我们预计公司2021-2023年的净利润分别为3.39/4.09/4.92亿元,EPS分别为1.07/1.28/1.55元,当前股价对应PE为50/42/34倍。考虑集成电路行业处于高景气周期,公司设备研发不断取得技术突破,订单高增长,我们将其评级由"中性"上调"增持"投资评级。
风险提示:人才流失风险;行业竞争加剧风险;下游需求放缓风险。
[2021-08-31] 至纯科技(603690):业绩符合预期,订单延续增长态势-2021年中报点评
■上海证券
事件
公司发布2021年半年度报告,上半年实现营收9.20亿元,同比增长76.51％;归母净利润1.50亿元,同比增长395.51％;扣非归母净利润0.43亿元,同比增长69.06％。其中,2021Q2实现收入6.89亿元,同比增长68.87％;归母净利润0.75亿元,同比增长66.67％。营业收入同比增长主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加所致。归母净利润同比大增主要是收入规模整体增加、公允价值变动损益(0.38亿元)及补贴收入(0.78亿元)增加所致。公司上半年新增订单17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。
点评
高纯工艺系统已切入一线用户,新研发成果开始陆续接到订单少数本土高纯工艺系统厂商的产品和服务已进入全球一线客户,正逐步实现进口替代。公司的客户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电、力晶等下游行业领先者。
公司大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、工艺尾气处理系统、大宗气体系统等相关技术陆续通过验证并获得订单。其中,半导体级先进前驱体物料供应系统已研发完成,并接到客户的首台订单,将于2021年3季度进入验证阶段;今年上半年,干式特殊气体排放处理设备通过多个12寸半导体工厂验证,并在6个月内获得超过80台设备订单;首个服务于12寸半导体的电子级大宗气体工厂处于建设中,预计在2021年3季度进入调试,年底投入运行。上半年高纯工艺系统新增9.8亿元订单,是该业务去年总收入的1.14倍,未来业绩增长具有保障。
半导体湿法清洗设备又拓展新客户,高阶工艺设备已获取正式订单公司能提供到28nm节点全部湿法工艺,槽式设备及单片式设备均能满足8-12寸晶圆制造的湿法工艺需求,已切入中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等一线用户,今年上半年又开拓了绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等新客户。在技术储备上,公司持续开发符合高阶工艺应用的设备(如多反应腔、18腔等),在14nm-7nm技术方面已接到4台订单,预计将于2022年交至客户产线进行验证。上半年湿法设备新增订单4.3亿元,达到去年全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元,下半年将有8台12寸单片设备交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。
盈利预测
我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元,归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,对应当前股价的PE分别为65x/51x/43x。公司通过高纯工艺系统起家,和半导体一线厂商建立了良好合作关系,湿法清洗设备和高纯工艺系统业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升,公司估值有望重构。 在我国半导体产业面临外部打压背景下,国产替代是行业发展趋势,我们看好公司湿法设备的成长性。未来六个月内,维持"买入"评级。
风险提示
新产品拓展不及预期;行业竞争加剧;下游需求不及预期。
[2021-08-31] 至纯科技(603690):清洗赛道领航者,国产化替代正当时-中报点评
■安信证券
事件8月30日晚公司发布半年度业绩报告。报告期内,公司实现营业收入9.20亿元,同比增长76.51％％;实现归属于上市公司股东的净利润1.50亿元,同比增长395.51％％;实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润0.43亿元,同比增长69.06。
半年报业绩符合预期新增订单饱满21H1公司业绩大幅增长,主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2营收6.89亿元同比增长68.87％68.87％,环比增长198.27。毛利率及净利率分别3.01pct//+10.68pct系随着公司业务体量增长增加了销售费用70.44、管理费用((+64.46及研发投入35.83。截至报告期末,公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。
湿法设备发展迅速再生晶圆前景可期根据公司公告,上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％其中单片设备新增订单2亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主,而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告公司已经具备生产812寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产,产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。
高纯工艺系统持续扩展,为新兴业务导流作用明显:高纯工艺系统方面,根据公司公告,截至报告期末,至纯集成获得了9.8亿元的新增订单,一线用户持续产能的扩展给予公司持续的业务订单。根据公告,目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户,用户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士,三星,台积电,力晶等等,是下游行业的领先者。依托高纯工艺系统的良好基础,今年上半年半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)已研发完成并接到核心客户的首台订单,将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)通过多个12寸半导体工厂验证,并在6个月内获得超过80台设备的订单首个服务于12寸半导体的电子级大宗气工厂预计在2021年3季度进入调试,年底投入运行。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元((+42％)、27.18亿元((+37％)、36.69亿元((+35％),归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元((+42.9％)、5.10亿元((+37％)、6.73亿元((+31.9％),对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元,对应PE分别为49倍、36倍、27倍。12个月目标价为80.1元,维持"买入A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期的风险;进口零部件渠道受阻的风险;出货放量不达预期的风险;股东解禁减持的风险
[2021-08-31] 至纯科技(603690):业绩符合市场预期,半导体业务拓展顺利-2021年中报点评
■东吴证券
事件:2021H1公司实现营业收入9.20亿元,同比+76.5％;归母净利润1.50亿元,同比+395.5％;扣非归母净利润0.43亿元,同比+69.1％。
投资要点
业绩符合市场预期,非经常性损益增厚净利润受益于半导体行业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加,2021H1公司实现营业收入9.20亿元,同比+76.5％;归母净利润1.50亿元,同比+395.5％,主要系非经常性损益较多,包括0.78亿元的政府补贴及0.48亿元公允价值变动损益等;扣非归母净利润0.43亿元,同比+69.1％。其中分产品来看,高纯工艺集成系统实现5.81亿元收入,同比+53.4％,占比63.2％;半导体设备实现收入2.69亿元,同比+254.0％,占比29.2％;光传感及光器件实现收入0.69亿元,同比+2.8％,占比7.5％。分季度来看,Q1公司实现营业收入2.31亿元,同比+104.1％,归母净利润0.75亿元,同比+605.28％;Q2实现营业收入6.89亿元,同比+68.9％,归母净利润0.76亿元,同比+67.12％。
产品毛利率有所下滑,控费能力优异抵消部分影响
2021H1公司综合毛利率为30.9％,同比-3.2pct,其中高纯工艺集成系统毛利率为31.3％,同比-0.4pct;半导体设备毛利率为23.9％,同比-5.9pct;光传感及光器件毛利率为53.1％,同比-2.2pct。2021H1公司净利率为16.1％,同比+10.7pct;扣非净利率为4.7％,同比-0.1pct。2021H1公司期间费用率为23.3％,同比-2.6pct,其中销售费用率为4.1％,同比-0.1pct,管理费用率(含研发)为17.11％,同比-2.3pct,财务费用率为4.4％,同比-0.1pct。
新签订单充足,合同负债＆存货稳定增长
公司新签订单充足,截至2021年6月30日,公司整体业务新增订单达17.2亿元,达到2020全年新增订单的88％。新增订单中,整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到2020全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。受益于新签订单充足,截至2021H1公司合同负债为2.52亿元,同比+59.9％;存货为9.75亿元,同比+40.7％。
盈利预测与投资评级:考虑半导体设备景气度持续提升＆清洗机国产化难度相对较低,我们维持公司2021-2023年净利润为3.46/4.83/7.16亿元,当前股价对应动态PE为53/38/26倍,维持"买入"评级。
风险提示:半导体业务进展不及预期;行业竞争加剧风险。
[2021-08-30] 至纯科技(603690):公司立足高纯工艺系统布局半导体相关领域,湿法工艺设备快速发展-2021中报
■申万宏源
公司公告:1)发布2021半年报:实现收入9.2亿元,同比增长76.5％,归母净利润1.5亿元,同比增长395.5％,扣非归母净利润4264万元,同比增长69.1％。其中二季度单季实现收入6.89亿元,同比及环比增速分别为69％、198％,归母净利润7553万元,同比增长67.1％,环比增长0.8％。
符合预期。2)发布可转债预案:计划公开发行不超过11亿元的可转换公司债券,用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。
随着湿法设备业务放量,收入快速增长,在手订单丰富;受费用项拖累,子公司波汇科技亏损,影响上半年利润。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重,目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。目前公司在手订单丰富,新增订单达17.2亿元,已经达去年全年88％,其中半导体相关的14.2亿元,湿法设备4.3亿元,包括2亿元单片设备。上半年公司综合毛利率31％,同比减少3.2pcts,其中21Q1、21Q2毛利率分别为41.5％、27.3％,主要系部分一次性研发支出及验证等费用影响,预计后期随着产品批量供货后,毛利率有望回升。波汇科技业务具有较强的季节性,上半年由于费用方面的快速增长等因素,导致亏损接近2500万元,对公司利润影响较为严重,我们下半年尤其是四季度影响逐步消除。
清洗设备是有望实现国产化最快突破的设备领域之一。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤,晶圆清洗变得更加复杂及重要。目前供应商主要为日本及欧美企业为主,国内约有三家公司能够提供中高阶湿法制程设备,包括至纯科技、北方华创及盛美股份,国产份额有望快速提升。
公司产品包括槽式设备(槽数量按需配置)及单片机设备(8～12反应腔)均可以提供8～12寸晶圆制造的湿法工艺设备。公司在上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司已经完成28nm全系列湿法设备的认证;获得较多国内一线客户认可,包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。
通过可转债募集资金,进一步拓展湿法工艺。可转债项目中,单片湿法项目计划共投资5.2亿元,通过转债投资2.8亿元,至纯北方半导体研发生产中心项目计划共投资3.3亿元,通过转债投资1.3亿元,两个项目主要是持续研发14nm及以下制程清洗设备产品,降低公司半导体零部件采购成本,提高整机设备及其零部件协同发展能力,并且扩大产能,缓解压力。集成电路大宗气体供应站项目计划投资3.9亿元,通过转债投资3.6亿元,该项目有助于公司丰富公司的业务种类,为公司创造新的业务增长点。
公司立足高纯工艺系统布局半导体相关领域,湿法工艺设备快速发展。公司在半导体相关业务领域不断拓展,从高纯工艺系统到湿法工艺设备,今年合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡,预计四季度开始贡献收入。后续持续加深在各领域的产能扩张及布局。我们认为,国内集成电路高景气至少持续三五年甚至更长时间,公司已形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局。新增2023年盈利预测,下调2021-2022年预测(原预测4.31、7.58亿元),预计2021-2023年净利润分别为3.02/4.21/5.24亿元。考虑到公司单片式湿法设备2021年下半年开始陆续交付,设备单价较高下,后续收入及利润增长加速,参考目前半导体设备相关公司北方华创、芯源微、中微公司、华峰测控2021年wind一致预期,平均PE约179X,上调公司至"买入"评级。
[2021-08-30] 至纯科技(603690):半导体业务订单大增,看好国产替代下公司的快速成长-中期点评
■国联证券
事件:公司于8月30日发布半年报,上半年实现营收9.20亿元,同比增长76.51％;
归属于上市公司股东的净利润约1.50亿元,同比增长395.51％;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润约4263.53万元,同比增长69.06％。
投资要点:IC产业高景气,高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。期新增订单中,整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。
半导体业务进入快车道,先进湿法清洗设备持续获得验证后正式订单清洗设备方面,目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。上半年新增订单中有17台套是中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技以及力积电等老客户的重复订单;11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。同时晶圆再生项目7月已正式量产,有望在2021年贡献2个月度产值。
盈利预测
基于半导体产业高景气度下公司新增订单的快速增长,上修盈利预测,预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元,看好公司半导体清洗设备的持续放量,维持"增持"评级。
风险提示
高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。
[2021-08-30] 至纯科技(603690):至纯科技上半年度净利润同比增长395.51%
■上海证券报
至纯科技发布半年报。公司2021年上半年实现营收920,476,042.92元，同比增长76.51%;归属于上市公司股东的净利润150,450,045.52元，同比增长395.51%;基本每股收益0.478元。
[2021-08-25] 至纯科技(603690):厚积薄发，发力湿法设备快车道-深度研究
■信达证券
高纯工艺系统龙头，湿法设备生力军。公司从高纯工艺系统起步，逐步拓展了BU1-5五个事业部，分别开展湿法设备/晶圆再生、高纯工艺系统、先进工艺材料、生物制药、光传感及光器件业务，有望发挥客户资源优势，实现各业务的协同发展。伴随业务线的不断拓宽，公司营收构成持续丰富，收入规模强劲增长。2016-2020年，公司营业收入从2.63亿元增长至13.97亿元，年均增速51.8%。利润方面，伴随湿法设备批量出货及高毛利的传感业务拓展，公司利润率逐年提升，2021年Q1毛利率达42%。作为晶圆厂上游的设备和系统供应商，至纯科技的成长将深度受益于国内晶圆代工产能的高速扩张。据我们统计，2021年国内晶圆厂新增产能将达64万片/月(等效8英寸)。公司亦于2019/20年分别通过可转债和定增融资扩产，满足下游需求增长。
系统:下游需求旺盛，本土客户全面覆盖。高纯工艺系统是晶圆厂建设的关键基础设施，承担化学品储存和输送的作用。高纯工艺系统约占晶圆厂建厂成本的8%，是晶圆厂建设中价值量较高的资本开支环节。除了集成电路制造，泛半导体领域的面板、光伏、LED，以及光纤、生物制药等行业亦有广泛的高纯工艺系统需求。高纯工艺系统业内龙头主要为美、日、台系厂商，国内厂商起步较晚，公司是其中的领军者。2020年系统业务收入8.63亿元，毛利率32%，领先竞争对手，并拥有上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户，2020年所有核心客户均给予了持续的重复订单。
湿法设备:客户验证顺利，单片批量交付在即。清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清洗设备市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家厂商占据了90%以上的市场份额，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局。当前湿法清洗设备国产化率约达20%。2020年，公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台，较2019年增长50%。同时单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元，同比增长112%。产品覆盖28nm以上全部制程节点，14nm预计明年开始验证。客户方面公司打入中芯国际、华润微、台湾力晶、TI等海内外龙头客户，获得重复订单。伴随公司持续扩产，我们看好公司在下游客户获得持续的份额增长。
业务拓展:晶圆再生填补国内空白，并购开辟传感业务。晶圆再生业务是湿法工艺的延伸，主要用于测试片晶圆的重复利用。伴随硅片用量的持续增长和价格上涨，晶圆再生需求旺盛。而当前国内供应商份额不足10%，国产替代意愿强烈。至纯合肥工厂是中国首个量产12英寸再生晶圆的工厂，建成后预计将形成年产168万片的晶圆再生产能。光传感是公司通过并购波汇开启的另一战场。2018年全球光纤传感器市场规模达43亿美元，空间可观。对波汇的并购有效增厚了公司的利润，2020年贡献3.17亿元营收和0.7亿元净利。
盈利预测与投资评级:我们预计公司2021/22/23年，营收分别为19.03/25.71/31.23亿元，归母净利润分别为3.16/4.24/5.24亿元，对应当前股价PE分别为61/46/37倍。对比同行业可比公司，至纯当前估值仍处于合理区间。考虑到公司作为湿法清洗设备的龙头公司，随着设备技术的不断突破，具备较强的国产替代确定性，市占率有望持续提升。首次覆盖，给予"买入"评级。
风险因素:行业周期性波动风险；下游客户扩产不及预期风险；国际贸易摩擦风险。
[2021-08-24] 至纯科技(603690):至纯科技拟发行可转债募资不超11亿元
■证券时报
至纯科技(603690)8月24日晚披露可转债预案，募集资金不超11亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，至纯北方半导体研发生产中心项目，集成电路大宗气体供应站及配套项目，补充流动资金或偿还银行贷款。
[2021-08-17] 至纯科技(603690):至纯科技蒋渊 修炼研发功力登上国际舞台
■上海证券报
随着全球半导体产能大扩张，业内预期半导体设备材料迎来产业“大年”。近日，至纯科技董事长蒋渊在接受上海证券报记者采访时表示：“半导体处于时间较长的景气周期，设备业务进入增长‘大年’，至纯科技的半导体板块业务持续增长。”
半导体设备业务的增长可持续吗?蒋渊认为，全球半导体产业格局面临较大变化，中国半导体产业迎来较大的发展，这给设备材料产业打开机遇窗口，那些已经做好准备的龙头公司将在未来1至2年加速成长。
“只有参与国际竞争，中国的半导体设备和材料产业才算真正发展起来了。”蒋渊说。
“我们对下半年保持乐观”
“今年订单依然饱和，我们的产能也在持续扩张。”提及半导体设备业务，蒋渊表示，公司的湿法设备在2020年的基础上继续保持快速增长，“我们对下半年保持乐观”。
至纯科技2020年年报显示，在湿法设备业务上，公司2020年新增订单5.3亿元，其中单片设备新增订单3.66亿元。
通过高强度资源投入和自主研发，至纯科技已具备8英寸、12英寸湿法工艺全系列设备，产品覆盖先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等细分领域的市场需求，并在各细分领域取得一线客户的订单。
“那些进入产业本土供应链的公司，未来将会加速发展。”蒋渊表示，基于半导体产业特性，一旦进入客户供应链，半导体设备材料公司往往可以在较长一段时期内持续取得稳定的业务份额。这也意味着，那些公司一旦占得先机，便可获得持续的增长和领先优势。
“随着制程演进，到28nm及以下先进制程，需要的清洗工序等增加，洁净度要求提高，单片设备的用量将大幅增加。”蒋渊称，历经高强度的自主研发，公司在江苏启东设立了湿法设备制造基地，公司自主研发的多个型号单片式湿法设备获得了国内重要用户的系列订单。
“跨界”再生晶圆有进展
在半导体领域，至纯科技的看点不只是湿法设备，其高纯工艺系统业务、再生晶圆业务同样可圈可点。
“高纯工艺系统也是今年的主要增长点之一。”对于这项“看家业务”，蒋渊介绍，公司成立20多年来，高纯工艺系统业务经历了光纤、制药、光伏、LED、平板显示等下游产业的大发展，集成电路、化合物半导体成为当前该项业务增长的主要驱动力。
蒋渊表示，公司还将把更多资源倾斜到半导体设备、晶圆再生等新业务上。至纯科技合肥至微项目7月在合肥新站高新区举行了量产仪式，这是国内首个量产的12英寸晶圆大规模再生工厂，填补了集成电路产业链又一空白。
“新站高新区是国家级电子化学品使用专区，公司在此设立了湿法工艺高阶联合实验室，公司将和用户一起在此进行相关工艺开发工作。”蒋渊介绍，公司从三方面对合肥晶圆再生项目立项进行考量：首先，市场需求明确，但国内12英寸晶圆再生领域处于空白阶段，项目可以产生不错的经济效益;其次，晶圆再生项目投资占比较大的环节有研磨设备、湿法设备、量测设备和高纯工艺系统，公司拥有湿法设备和高纯工艺系统，成本上相对有优势;再次，通过晶圆再生项目，公司可建立高阶的工艺验证和开发平台。
“晶圆再生业务今年可以产生收入，但还不会产生利润。”蒋渊表示，该项业务目前依然处于产能爬坡阶段。根据规划，该项目以14nm晶圆厂需求为设计基础，项目达产后将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。
将更多参与国际竞争
“进入湿法设备等半导体领域，至纯科技是‘谋定而行’，目标也很明确，就是在湿法设备领域获得一定市场份额，并有能力参与国际竞争。”蒋渊说，至纯科技自成立起就确立了“关注核心工艺，服务关键制程”的发展思路，在公司营收过亿元、有了一定积累后，就果断将目光投向半导体设备。也是从那时起，公司就深刻认识到，半导体是一个全球化的产业，中国公司未来只有站到国际舞台上，才算脱颖而出。
蒋渊表示，自2014年看到大基金(国家集成电路产业投资基金)设立，就感知到了中国半导体产业的大发展前景。她坚定地带领企业对接资本市场，以迎接半导体产业启动的机会。2015年，至纯科技起确定要投资研发湿法设备。
“没有原生态的创新，企业和产业都不能健康持续成长。”蒋渊说，当前是最好的时期，产业不缺创新需求，就看哪家厂商有决心、有定力、有耐力，能俯下身子踏实研发，量产出客户需要的高端技术和产品。至纯科技一直在按照计划，心无旁骛地前行在高端产品研发路上。
至纯科技在2018年年报中写道，在5年规划中(自2019年起)，湿法事业部有超200台各类湿法清洗机台的装机量;材料零部件事业部将投资和开发集中于28nm至14nm制程的高纯电子材料和相关零部件。
机会窗口期很长吗?蒋渊表示，下游厂商建立本土供应链带来的时间窗口并不会特别长，公司要力争在未来1至2年加速成长。在这之后的进入者，要抢占“先行者”的市场份额，会面临比现在更大的挑战。“当前，对已具备相关能力的中国厂商而言是千载难逢的机会。”
5年规划目标能如期完成吗?蒋渊表示，从当前趋势看，她非常有信心，更多地参与国际竞争，是她和至纯科技一直努力的方向。
[2021-07-28] 至纯科技(603690):清洗赛道佼佼者,国产化替代放量在即
■安信证券
深耕半导体高纯系统+晶圆清洗两大赛道,中国半导体国产化替代重要参与者。公司的主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及光学元器件,2020年公司3块业务的占比分别为61.8％、15.6％和22.5％。根据公告,公司在高纯工艺系统领域服务于一线IC晶圆厂,包括三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长存、长鑫、士兰微等头部客户。根据公告,在湿法装备领域,公司已经具备了湿法工艺全系列的设备,目前已经切入一线用户的高阶工艺(critical)应用,正进入产能爬坡和供应链自主的阶段;同事,14nm以及7nm工艺进阶功能的研发有序进行,预计2022年可以开展客户验证;公司旗下波汇科技则负责积极向光电传感及光电子元件器产业链延伸。
清洗是半导体设备核心赛道之一,"先进制程国产化突破"和"成熟工艺产能大规模建设"是中国清洗设备需求放量两大驱动力。根据SEMI的数据,2020年全球半导体清洗设备市场规模达到37亿美元。结合未来中国晶圆厂建设进度,我们估计国内每年装机需求将在15～25亿美金左右,维持高速增长。根据SEMI统计,湿法清洗设备(特别是12寸)被日美所垄断,超过95％以上的机台需要进口。全球半导体清洗设备行业的龙头企业主要是迪恩士DNS、东京电子、韩国SEMES、泛林半导体等,我国参与者包括至纯科技、盛美半导体、北方华创、芯源微等。根据中国国际招标网信息,从2019年～2021年H1中国主流晶圆厂清洗设备招标采购份额来看,我国半导体清洗设备的国产化率已经维持在10％～20％,突破最快,国产化率超过了其他大部分设备。目前公司的湿法设备包括槽式和单片式两大类,逐步突破直到28纳米节点的全部工艺,并切入中芯国际、华虹集团等主流大厂。
国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,开辟新增长点。根据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。SEMI统计,再生晶圆价格会跟随硅片正片价格上涨。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。2021年4月份左右,信越化学等巨头开始集中提价10～20％,是信越3年来首度涨价,体现全球性硅片周期上行。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。
20年订单大增,预计21H1继续快速放量,大客户验证进展迅速。根据2021年一季报,公司Q1实现营业收入2.31亿元,同比增加104.13％,实现归母净利润0.75亿元,同比扭亏。(年报披露)2020年,公司全年新增订单19.6亿元,同比增加38％;其中,半导体板块新增订单13.6亿元,湿法设备新增订单5.3亿元,同比增加211％。在20年Q4,公司收入实现大幅增长(单季度营收增长超70％,归母净利润增长近400％)。其中,公司清洗设备的订单大增,其中槽式湿法设备规模化上量、供不应求,单片式设备有多台处于验证中。根据公告,公司提出2021年运营目标为:整体的营业收入目标和新增订单目标继续保持30％以上的增长,湿法工艺大幅提高成熟机型 的市占率,产能爬坡,毛利爬坡,并持续投入新机型研发。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元(+42％)、27.18亿元(+37％)、36.69亿元(+35％),归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元(+42.9％)、5.10亿元(+37％)、6.73亿元(+31.9％),对应EPS分别为1.17元、1.6元、2.11元,对应PE分别为49倍、35倍、27倍。首次覆盖,我们给予至纯科技12个月目标价为80.1元,给予"买入-A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期,出货放量不达预期,股东解禁减持
[2021-07-01] 至纯科技(603690):国产替代趋势下,半导体湿法清洗设备迎增长机遇
■上海证券
估值与投资建议
我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元,归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,对应当前股价的PE分别为41x/32x/27x。公司通过高纯工艺系统起家,和半导体一线用户建立了良好合作关系,湿法清洗设备和系统集成业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升,公司估值有望重构。在我国半导体产业面临外部打压背景下,国产替代是行业发展趋势,我们看好公司湿法设备的成长性,未来六个月内维持"增持"评级。
高纯工艺系统产品线丰富,已切入下游多家一线知名厂商高纯工艺系统广泛应用于集成电路、显示屏、光伏、生物制药及食品饮料等领域,下游应用领域良好发展势头有利于驱动高纯工艺系统的需求增长。公司具有涵盖气体、化学品等高纯工艺设备及系统的丰富产品线,拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、大宗气体系统等相关技术研发,加大了对工艺减排、产品服务化的布局。公司在高纯工艺系统领域属于具有承接大型项目的实力与经验的本土企业,产品已切入中芯国际、士兰微、长江存储、台积电、海力士等知名厂商。
不断加大在半导体湿法清洗设备领域布局,订单保持快速增长态势2020年中国大陆成为全球最大半导体设备市场,销售额达到187亿美元,占全球26.3％。随着全球"缺芯"蔓延,半导体企业纷纷扩产,未来对设备需求有望保持增长态势。公司湿法设备能提供到28nm节点的全部湿法工艺,14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证。客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。2020年湿法设备出货量超过30台,新增订单5.3亿元,增长211.8％。
通过并购进入光纤传感及光电子元器件领域,培育新的业绩增长点2019年公司通过并购从事光纤传感及光电子元器件业务的波汇科技来扩大业务边际领域。公司正在扩建光电子材料及器件产能,丰富产品结构的同时拓展下游应用领域至5G、数据中心、工业、医疗等高新行业,有利于培育新的业绩增长点。此外,公司通过在高纯工艺系统及工艺制程设备中运用波汇科技的光传感技术,可进一步提升公司的市场竞争地位,通过发挥业务协同效应,提升产品价值和市场空间。
风险提示:(1)行业竞争加剧,新增订单不及预期;(2)新产品拓展不及预期;(3)下游需求不及预期。
[2021-06-02] 至纯科技(603690):受益国产替代大潮,单片清洗设备即将批量交付-首次覆盖
■国泰君安
结论:市场认为公司业务领域拓展过广,我们认为公司现阶段集中精力湿法清洗设备业务,目前订单已排到2022年,单片清洗设备将于21H2批量交付,清洗设备将进入新阶段。预计2021-23年EPS为0.96、1.28、1.69元,基于可比公司PE/PS估值,给予目标价57.6元,对应2021年60倍PE,首次覆盖,给予增持评级。
把握芯片制造资本开支扩张高景气,受益国产替代提速。21Q1全球晶圆代工资本开支达到101.7亿美元,创历史新高,同比+38.7％,4月台积电将2021年资本开支上调至300亿美元,较年初提升10-20％。中国大陆成为全球最大半导体设备销售市场,预计2021-22年将进入产能密集投放期,与此同时美国对中国半导体产业链封锁从芯片向设备紧逼,设备国产化得到空前重视。
聚焦湿法清洗设备,单片设备即将批量出货。2018-20年公司研发支出从0.37亿增至1.5亿,而高纯工艺事业部及波汇研发支出增加不多,增量投入主要投向清洗设备。公司槽式设备自2019年批量出货以来,已获得中芯等一线厂商重复订单,单片设备2020年也获得3.7亿批量订单,预计21H2将批量出货。
借助清洗设备优势,卡位晶圆再生蓝海市场。现阶段国内晶圆再生产能不足,公司借助清洗设备及系统集成优势,率先投产,随国内晶圆产能持续扩大,公司后续将继续增加产能。
风险提示:疫情反复影响产品交付进度,商誉减值风险
[2021-05-10] 至纯科技(603690):在手订单保持增长,半导体板块是重点发力领域-2020年年报及2021年一季报点评
■上海证券
公司动态事项
公司公布2020年年报和2021年一季报,2020年实现收入13.97亿元,增长41.63％;归母净利润2.61亿元,增长136.36％;扣非归母净利润1.11亿元,增长22.2％。2021Q1实现收入2.31亿元,同比增长104.13％;归母净利润0.75亿元,去年同期亏损0.15亿元;扣非归母净利润0.03亿元,去年同期亏损0.17亿元。
事项点评
毛利率不断改善,资产负债率持续降低,2021Q1扭亏为盈
2019年以来公司毛利率不断改善,从34.35％上升到2021Q1的41.55％;资产负债率从2018年的69.47％降至2021Q1的42.7％。得益于收入大增(同比增长104.13％)以及管理费用、财务费用占收入比重降低(分别降低8.83个百分点、6.09个百分点),2021Q1和去年同期相比成功实现扭亏为盈。
在手订单保持增长,半导体板块是重点发力领域
2020年公司整体业务新增订单达到19.6亿元,较上年同期增加38％。2020年来自半导体行业的收入占比为54.20％,整个半导体板块新增订单13.6亿元,其中湿法设备新增订单5.3亿元,较上年同期增加211％,半导体业务继续行驶在快车道上。目前,公司在高纯工艺系统领域已形成从研发、设计、制造到供应链的较强竞争优势,主要服务于一线集成电路用户,竞争对手也均为国际厂商。在湿法装备领域,公司具备了湿法工艺全系列的设备,已切入一线用户的高阶工艺应用,正进入产能爬坡和供应链自主的发展阶段;对于14nm以及7nm工艺需求的进阶功能的研发,预计2022年可以提供给客户进行验证。
下游需求行业持续增长,公司积累了一批高端客户和合作伙伴
集成电路行业多年处于景气周期。2020年,我国集成电路产业中的制造业销售额为2560.1亿元,增速为19.1％;集成电路产量达到2612.6亿块,增速为16.2％。2020年全球主要半导体设备行业收入增长20％,其中中国大陆地区的半导体设备市场需求占全球的27％,稳居第一大市场,未来进口替代空间较大。在光传感与光电子行业,预计到2022年,全球光传感器市场规模将成长至1836亿元,2016-2022年复合增长率达5％,中国光传感器市场规模将成长至1180亿元,2016-2022年复合增长率达7％。公司的产品和服务不断完善,在以上领域积累了一批高端客户和合作伙伴,且基本为各自行业的领军企业或主要企业。高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户;半导体湿法设备领域如中芯国际、北京燕东、TI、华润等;光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼韦尔等。
投资建议
我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元,归母净利润分别为2.83亿元/3.65亿元/4.32亿元,EPS分别为0.89元/1.15元/1.36元,对应当前股价的P/E估值水平分别为34x/27x/23x。公司单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单,进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白;伴随自主研发的多个型号单片式清洗设备获得商用推进,公司的投资价值和潜力进一步凸显。首次覆盖,未来六个月内给予"增持"评级
风险提示
新产品拓展不及预期;行业竞争加剧;下游需求不及预期。
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[2022-02-15] 至纯科技(603690):至纯科技公司晶圆再生于去年下半年建成投产 下游客户需求较旺盛
■证券时报
至纯科技(603690)在互动平台表示，公司晶圆再生于去年下半年建成投产，目前已陆续接到客户订单并稳步推进中，目前价格走势相对平稳，下游客户需求较旺盛。
[2022-02-08] 至纯科技(603690):至纯科技出资1000万元参与投资小苗朗锐投资基金
■证券时报
至纯科技(603690)2月8日晚间公告，公司作为有限合伙人出资1000万元参与上海紫竹小苗朗锐私募投资基金合伙企业(有限合伙)(简称“小苗朗锐”)。小苗朗锐基金募集规模为3亿元，主要投资于战略新兴产业，包括新一代信息技术、节能环保、生物健康、高端制造、新材料、新能源及新能源汽车、高技术服务、前沿科技等。
[2021-12-23] 至纯科技(603690):至纯科技第100台湿法设备顺利出机
■证券时报
记者获悉，近日，至纯科技第100台湿法设备，12寸单片清洗机台顺利出机。此次，12月中旬的交机中，恰逢累积第100台湿法设备出机。
[2021-12-11] 至纯科技(603690):公司技术路线对标国际大厂SCREEN,有望成为高端湿法设备的领先者-系列跟踪报告之二
■光大证券
单片清洗未来在半导体清洗设备中的核心地位将日益凸显。半导体清洗设备可分为干法清洗设备和湿法清洗设备,目前90％以上的清洗步骤以湿法工艺为主。
湿法清洗设备又分为槽式清洗和单片清洗,其中槽式清洗设备一般一次清洗约30-50片晶圆,清洗量大但容易交叉污染,随着先进制程的不断推进,其颗粒去除效率(PRE)较低,逐步被单片清洗设备取代;单片清洗设备主要分为单片清洗机、单片刷片机和单片刻蚀机,其颗粒去除效率(PRE)较高,其中单片清洗机的目的是清洗颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物,单片刷洗设备一般为物理清洗,目的是去除表面颗粒,主要用于CMP后清洗,单片刻蚀设备主要用于膜层的轻度刻蚀。随着先进制程的不断推进,特别是28nm及以下工艺,单片清洗设备将全面取代槽式清洗,配备8-12-16腔,核心地位日益凸显。
纳米喷淋是国际上单片湿法清洗设备的主流技术路线。目前单片湿法清洗技术主要分为纳米喷淋清洗(NanoSpray)、兆声波清洗(Megasonic)和刷子清洗(Brush)三种,前两者建立在旋转喷淋(SpinSpray)的技术上。2020年全球半导体清洗设备市场基本上被日本SCREEN、日本TEL、韩国SEMES和美国LAM垄断,销售额占比分别为45.1％、25.3％、14.8％和12.5％,合计占比97.7％,国内厂商话语权较弱。头部大厂日本SCREEN是最早开发和使用NanoSpray技术的设备厂商,2010年后其更新升级后的NanoSpray2和NanoSpray3技术进一步提升了芯片的良率,是目前国际上主流的清洗技术。至纯科技单片清洗技术对标日本SCREEN,采用NanoSpray方案。
至纯科技采用国际主流清洗技术NanoSpray,能提供全部28nm节点湿法设备。
至纯科技采用先进的NanoSpray技术,目前已经可以提供28nm节点的全部半导体湿法工艺设备,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客?产线,另外在更先进的14-7nm技术世代已经接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客?产线验证。我们预计公司2021-2022年半导体湿法设备订单可达12/20亿元,对应清洗设备收入分别为7.68/13.90亿元,其中单片清洗设备收入在湿法设备总营收中的占比分别为40.10％/50.36％,占比正在快速提升中。
盈利预测、估值与评级:至纯科技是国内半导体湿法设备的龙头,随着公司国内一线客?的不断导入和验证以及单片清洗设备的逐步放量,公司有望迎来快速发展期。我们维持至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元,当前市值对应的PE分别为49x、44x、30x,维持"买入"评级。
风险提示:国产化进度不及预期,晶圆厂扩张不及预期,技术研发不及预期。
[2021-12-07] 至纯科技(603690):至纯科技以1.5亿元参投海河至汇合伙企业
■证券时报
至纯科技(603690)12月7日晚间公告，公司出资1.5亿元参与投资天津海河至汇光电创业投资合伙企业(有限合伙)(简称“海河至汇”)，海河至汇的认缴出资总额为3.8亿元，存续期内可增至不超过12亿元，主要投向光电子及泛半导体相关领域。
[2021-11-13] 至纯科技(603690):中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期-首次覆盖报告
■光大证券
至纯科技是中国半导体清洗设备龙头企业。公司的主营业务主要包括半导体湿法清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让,交易完成后,战略投资者持有至微科技的比例约22％,增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2021年前三季度实现营业收入12.83亿元,同比增长68.71％;实现归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％。中国半导体清洗设备市占率极低,国产替代空间巨大。根据Gartner统计数据,2024年预计全球半导体清洗设备市场销售额达31.93亿美元,清洗设备在全球半导体设备的市场销售额占比约为5-7％。2020年全球半导体清洗设备市场基本上被日本SREEN、日本TEL、韩国SEMES和美国LAM垄断,市场销售额合计占比97.7％,国产厂商至纯科技、盛美中国、北方华创、芯源微等份额较低。
半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备,包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上,主要为存储(DRAM,3DFlash)、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。2021年上半年,至纯的湿法设备业务新增订单达4.3亿元,其中单片设备2亿元。湿法清洗设备业务20年收入为2.2亿元,我们预计21-22年收入为7.68亿元和13.90亿元。
半导体高纯工艺系统将保持平稳增长。泛半导体工艺伴随许多种特殊制程,会使用到大量超高纯(ppt级别)的干湿化学品,这是完成工艺成果的重要介质,其特点是昂贵并伴随废气液排放。在集成电路领域,高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中,各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备,各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。目前公司高纯工艺系统客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士,三星,台积电,力晶等。盈利预测、估值与评级。至纯科技是国内高纯工艺系统的龙头,目前湿法设备进展顺利,有望成为国内高端湿法设备的领先者,随着公司一线客户的不断扩张以及下游需求的持续增长,公司有望迎来快速发展。我们预测至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元,当前市值对应的PE分别为51x、46x、32x,首次覆盖给予"买入"评级。
风险提示:国产化进度不及预期,晶圆厂扩张不及预期,技术研发不及预期。
[2021-11-05] 至纯科技(603690):盈利能力稳步提升,湿法清洗设备加速发展-三季点评
■国联证券
事件:公司发布2021三季报,实现收入12.83亿元,同比增长68.71％,归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％,扣非净利润8,052.68万元,同比增长97.55％。三季度单季实现收入3.62亿元,同比增长51.68％,归母净利润3771.54万元,同比下降27.72％。
点评:
子公司收入确认存在季节性波动,湿法设备订单持续高增长
公司前三季度的快速增长,主要源自于国内半导体产业高景气度带动的高纯业务与湿法清洗设备订单快速增长。三季度来看,由于子公司波汇收入确认存在季节性波动,一般收入确认集中在二、四季度,上半年同期波汇收入确认提前,导致同比经营数据下滑。毛利率方面,三季度毛利率达46.9％,同比、环比分别提升7.4、19.6个百分点,我们认为系公司高毛利湿法清洗设备占公司业务占比逐步提高。根据公司数据公布,截止至三季度末湿法部门已实现收入4.52亿元,收入占比达35％。
持续加码湿法清洗设备,国产替代助力加速发展
目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。伴随大基金二期、中芯聚源等国内顶级半导体产业基金入股至微,国产替代逻辑下公司湿法清洗设备进入加速发展期。
盈利预测与评级
维持对公司的盈利预测,预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元,看好公司半导体清洗设备的持续放量,维持"增持"评级。
风险提示
高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。
[2021-11-04] 至纯科技(603690):新签订单持续增长,湿法设备加速放量-三季点评
■中信建投
事件
10月29日盘后,公司发布三季报,前三季度实现营收12.83亿元,同比增长68.71％;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％。扣非净利润为0.81亿元,同比增长97.55％。
简评
一、营收净利润双增长,新签订单持续增长1)2021年1-9月营业收入12.83亿元,较上年同期增加约5.23亿元,主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加所致;2)公司扣非净利润为0.81亿元,同比增长97.55％。归母净利润1.88亿元,扣非净利润为0.81亿元,主要系公司收入规模整体增加、公允价值变动损益及补贴收入增加所致;3)Q3营业收入3.62亿元,同比增长51.68％,环比下降47.48％,归母净利润为0.38亿元,同比下降27.72％,环比下降50.06％,主要由于子公司波汇季节性收入确定高峰一般在Q2/Q4,而去年同期确认收入提前,导致公司利润略有波动。4)在手订单饱满,其中上半年公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元,下半年随着公司认证进度加快,新增订单保持高增长。
二、重心发展湿法设备,覆盖28nm节点全部湿法工艺
至微科技主要负责湿法设备及晶圆再生服务业务,湿法设备业务保持健康增长势头,晶圆再生业务已于2021年7月正式量产,有望在2021年度贡献2个月度的产值。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重,单片机占新增订单达到50％以上,目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。
三、拟发行可转债不超过11亿元,横纵拓展设备及零部件品类
本次拟发行可转债总额不超过人民币11亿元,其中3.5亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目,2.5亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目,1.7亿元用于半导体设备模组及部件制造项目,3.3亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款。近期公司控股子公司至微科技增资扩股引进战略投资,以及此次非拟发行可转债,主要目的为:1)将针对14nm及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发,有助于满足14nm及以下高阶工艺节点的需求,提升在高宽深比条件下的湿法工艺模块研发能力,实现整机产品在14nm及以下的逻辑芯片及1Xnm存储芯片、以及特殊工艺的制造应用,提高公司半导体核心零部件研发水平,巩固公司在国内的半导体湿法设备及关键零部件行业领先地位。2)公司现有的半导体湿法清洗设备28nm的研发及生产的技术积累(包括湿法去胶、刻蚀、清洗、刷洗),拟在北京亦庄设立湿法设备、半导体零部件及高纯工艺系统北方产业制造基地,有助于扩大公司产品品类和生产规模、增强公司产品下游应用领域,3)拟在海宁实施半导体模组及部件制造项目,项目的顺利实施利于推动我国关键半导体零部件进口替代,利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。
四、国产化路径清晰,给予"买入"评级
公司作为本土半导体清洗设备领先企业,在集成电路领域,公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代包括半导体湿法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务的能力;在光电子领域,公司依赖强劲的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向,积极在国内拓展业务应用领域,保持在市场上领先的竞争地位。我们预计2021-2023年营收为19.77/26.09/33.14亿元,对应归母净利润3.25/5.37/6.92亿元,EPS,0.84/1.38/1.78元/股,对应PE57/34/27X,基于公司单片湿法设备进入放量期,以及国内晶圆厂建设进入高峰期,以2022年50XPE给予6个月目标价68.19元/股,给予"买入"评级。
风险提示:1)先进制程工艺突破不达预期;2)零部件进口受阻
行业催化剂:1)景气度上行;2)客户资本开支提升
[2021-11-01] 至纯科技(603690):业绩符合预期,大基金二期拟入股子公司-2021年三季报业绩点评
■上海证券
事件
公司发布2021年三季报,前三季度实现营收12.83亿元,同比增长68.71％;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％;扣非归母净利润0.81亿元,同比增长97.55％。其中,Q3单季实现收入3.62亿元,同比增长51.68％;归母净利润0.38亿元,同比下滑27.72％;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76％。收入增长主要是集成电路产业景气带来高纯工艺系统业务及半导体清洗设备业务订单大幅增加所致。
点评
毛利率与研发费用率同比提升,非经常性损益导致Q2归母净利下滑Q3单季毛利率为46.89％,较去年同期提升7.42个百分点,带动前三季度毛利率较上半年提升4.52个百分点至35.39％。Q3单季研发费用为0.22亿元,同比增长100％,占收入比重为5.96％,较去年同期提升1.33个百分点。Q3非经常性损益项目金额为-17.6万元,而去年同期为3663.6万元,导致归母净利润同比下滑27.72％。从费用率来看,销售费用、管理费用、财务费用分别较去年同期提升0.62个百分点、降低0.58个百分点、降低1.97个百分点。受益于订单增长,Q3末存货较上半年末增加3.57亿元。
半导体湿法清洗设备又拓展新客户,高阶工艺设备已获取正式订单公司能提供到28nm节点全部湿法工艺,槽式设备及单片式设备均能满足8-12寸晶圆制造的湿法工艺需求,已切入中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等一线用户,今年上半年又开拓了绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等新客户。在技术储备上,公司持续开发符合高阶工艺应用的设备(如多反应腔、18腔等),在14nm-7nm技术方面已接到4台订单,预计将于2022年交至客户产线进行验证。上半年湿法设备新增订单4.3亿元,达到去年全年湿法设备订单的85％;其中,单片设备新增订单2亿元,下半年将有8台12寸单片设备交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。
大基金二期拟入股子公司至微科技,湿法清洗设备发展有望提速大基金二期、国有企业混改基金、上海半导体装备材料基金等多家机构拟向至纯科技控股子公司至微科技合计增资4.2亿元,本次增资及股权转让完成后,至纯科技持股降至77.11％,仍为控股股东。子公司至微科技是承载至纯科技湿法设备研发和产业化的主体,累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台,成为国内湿法设备的主要供应商之一。引入战略投资者有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系,也有利于开拓新客户以及进一步寻求产业合作机会。
盈利预测
我们预计公司2021/2022/2023年归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,增速分别为8.5％/28.8％/18.7％,对应当前股价的PE分别为 53x/41x/35x。公司通过高纯工艺系统起家,和半导体一线厂商建立了良好合作关系,湿法清洗设备和高纯工艺系统业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升,公司估值也有望得到提升。在我国半导体产业面临外部打压背景下,国产替代是行业发展趋势,我们看好公司湿法设备成长性。未来六个月内,维持"买入"评级。?
风险提示
新产品拓展不及预期;行业竞争加剧;下游需求不及预期。
[2021-10-30] 至纯科技(603690):湿法设备订单大幅提高,有望步入加速成长期
■安信证券
事件:2021年10月29日,公司发布2021年三季度报告,今年前三季度营业总收入为12.83亿元,同比增长68.71％。归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％,扣非归母净利润8052.68万元,同比增长97.55％
Q3营收同比延续高成长,湿法设备订单大幅提高:从Q3单季度来看,公司实现营业收入约3.62亿元,同比增长51.68％,环比下滑52.54％;实现归母净利润约3772万元,同比下降27.72％,环比下降50％;扣非归母净利润3789万元,同比提高143.76％,环比接近持平。公司Q3收入同比延续高增长,环比有所下滑,其中环比下滑主要原因为受到确认节点波动影响。在订单方面,根据公司互动平台数据,截至三季报报告期内,公司湿法部门的目前订单已经超过8亿,其中新增单片设备订单超4亿元。根据公告,公司上半年新增湿法设备订单4.3亿元,其中单片设备订单2亿元,按此测算Q3单季度新增湿法订单超3.7亿元,其中单片设备订单超2亿元。Q3单季新增湿法设备订单接近上半年的体量,其中单片设备已经超过上半年体量,湿法设备发展步入加速成长期,有望成为公司业绩新增点。
大基金二期入股子公司,清洗设备有望加速发展:公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东,此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金,表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资,公司不仅增强了资金实力,还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作,公司半导体清洗设备发展有望加速。
湿法设备发展迅速,再生晶圆前景可期:目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主,而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告,公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面,据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。我们认为公司再生 晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产,产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元、27.18亿元、36.69亿元,归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10亿元、6.73亿元,对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元,维持"买入-A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期的风险;进口零部件渠道受阻的风险;出货放量不达预期的风险;股东解禁减持的风险
[2021-10-29] 至纯科技(603690):业绩符合预期,盈利能力提升-三季点评
■华安证券
事件:10月29日,公司发布三季报。前三季度实现营收12.83亿元,同比增长68.71％;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96％;扣非归母净利润0.81亿元,同比增长97.55％。单Q3,实现营业收入3.62亿元,同比增长51.68％;归母净利润0.38亿元,同比增速-27.72％;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76％。
业绩符合预期,收入＆利润均实现高速增长
前三季度公司实现营收12.83亿元,yoy+68.71％,实现高速增长,主要系高纯系统业务及半导体设备业务快速扩张所致;归母净利润1.88亿元,yoy+127.96％,主要系公司收入规模整体规模及非经常性损益增加所致。单Q3,公司营业收入3.62亿元,同比增长51.68％;归母净利润0.38亿元,同比增速-27.72％,主要系相较于去年同期非经常性损益减少所致;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76％,扣非利润增速快于收入增速,主要系公司盈利能力提升,扣非后净利率提升。
盈利能力提升,彰显公司内部管控水平
前三季度公司销售毛利率35.39％,同比降低0.38pct;销售净利率14.42％,同比提高3.70pct;扣非后销售净利率6.28％,同比提升0.92pct。在毛利率基本不变的背景下,净利率与扣非后净利率均获得不同程度的增长,主要系期间费用率降低2.15pct,彰显公司内部管控水平。其中,销售费用率4.56％,同比降低0.04pct;管理费用率10.72％,同比降低0.79pct;研发费用率5.48％,同比降低0.69pct;财务费用率4.47％,同比降低0.71pct。下游需求旺盛,预期随着公司产品竞争力提升,叠加公司精益化管理,盈利水平有望持续提升。
发展战略清晰,各业务条线加快发展
①高纯工艺集成系统:集成电路产业景气拉动高纯工艺集成系统需求,并不断推出攻坚克难,半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)、干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)等订单陆续交货,收入规模有望持续增长。②湿法清洗设备:具备提供28nm节点的全部湿法工艺设备能力,进入到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线,与下游客户建立了良好合作关系。随着安徽合肥厂与江苏启东厂产能达产,公司清洗设备年产能可达140台,放量在即。③晶圆再生业务:7月已正式投产,运行情况良好,部分产品已送往下游客户进行验证。公司从工程配套系统业务逐渐转向设备、材料等核心业务,业务结构逐渐优化,是国内相关半导体企业转型典范,有望乘行业东风加速发展。
投资建议
预计公司2021-2023年EPS分别1.06/1.39/1.59元,对应PE44.60/34.23/29.84X。维持"增持"评级。
风险提示
下游晶圆厂资本开支不及预期,行业竞争加剧、全球贸易摩擦深化带来半导体全产业不确定性
[2021-10-22] 至纯科技(603690):大基金二期入股至微科技,产业助力清洗设备快速发展-事件点评
■国联证券
事件:公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元,股权转让涉及金额2.32亿元。本次交易完成前,公司持有至微科技的股份比例为99.34％,本次交易完成后,公司持有至微科技的股份比例为77.11％。
点评:
至微科技为公司湿法设备主体,产业基金增资助力加速发展
至微科技是公司湿法设备研发和产业化的主体,累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台,成为国内湿法设备的主要供应商之一。此次增资方包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等,涵盖国内顶级半导体产业基金,一方面是对公司清洗设备的肯定,另一方面也有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系,加强产业合作,加速公司设备的导入。同时,此次增资方之一芯晟至远执行事务合伙人为公司高管陆磊先生,参与此次增资也有利于激励公司管理层积极投入公司业务发展。
半导体业务进入快车道,先进湿法清洗设备持续获得验证后正式订单
清洗设备目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。同时晶圆再生项目7月已正式量产,有望在2021年贡献2个月度产值。
盈利预测与评级
维持对公司的盈利预测,预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元,看好公司半导体清洗设备的持续放量,维持"增持"评级。
风险提示
高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。
[2021-10-18] 至纯科技(603690):大基金二期入股子公司,清洗设备有望加速发展-事件点评
■安信证券
事件:公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元,股权转让涉及金额2.32亿元。本次增资的同时,公司将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95％的股权以2.32亿元转让给远致星火。本次交易完成后,公司持有至微科技的股份将从99.34％降低至77.11％。
大基金二期入股子公司,清洗设备有望加速发展:公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东,此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金,表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资,公司不仅增强了资金实力,还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作,公司半导体清洗设备发展有望加速。
半年报业绩符合预期,新增订单饱满:21H1,公司业绩大幅增长,主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2营收6.89亿元,同比增长68.87％,环比增长198.27％。毛利率及净利率分别-3.01pct/+10.68pct,系随着公司业务体量增长,增加了销售费用(+70.44％))、管理费用(+64.46％)及研发投入(+35.83％)。截至报告期末,公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。
湿法设备发展迅速,再生晶圆前景可期:根据公司公告,上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％,其中单片设备新增订单2亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主,而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告,公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面,据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产,产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元、27.18亿元、36.69亿元,归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10亿元、6.73亿元,对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元,维持"买入-A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期的风险;进口零部件渠道受阻的风险;出货放量不达预期的风险;股东解禁减持的风险。
[2021-10-18] 至纯科技(603690):至纯科技子公司拟增资扩股 引入大基金二期和混改基金等战略投资者
■上海证券报
至纯科技公告，为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业(有限合伙)、上海芯晟至远企业管理合伙企业(有限合伙)合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%的股权以2.32亿元转让给远致星火，其中4222.4万元计入至微科技注册资本，1.9亿元计入资本公积。本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例由99.34%降为77.11%。
[2021-09-15] 至纯科技(603690):至纯科技股东拟减持公司不超1.064%股份
■证券时报
至纯科技(603690)9月15日晚间公告，因支付发行股份购买资产相关税务的资金需求，股东赵浩自15个交易日后的6个月内拟通过集中竞价、大宗交易方式减持其所持有的股份不超过339万股，即不超过公司目前股份总数的1.0644%。
[2021-09-02] 至纯科技(603690):半导体业务稳步发展,打造装备及材料供应商-中期点评
■华安证券
事件:2021年8月31日,公司发布中报。上半年公司实现营收9.21亿元,同比增长76.51％;归母净利润1.51亿元,同比增长395.51％;扣非归母净利润0.43亿元,同比增长69.06％。单Q2,实现营业收入6.89亿元,同比增长68.85％;归母净利润0.76亿元,同比增长67.12％;扣非归母净利润0.40亿元,同比增速-7.34％。
上半年业绩符合预期,营收大幅增厚
上半年公司实现营收9.21亿元,yoy+76.51％,营收大幅增厚,主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加;归母净利润1.51亿元,yoy+395.51％,主要系公司收入规模整体增加、公司公允价值变动损益及补贴收入增加所致,上半年公司非经营损益合计1.08亿元,其中非流动资产处置损益1402万元、政府补助7802万元、金融资产公允价值变动4118万元。扣非归母净利润0.43亿元,yoy+69.06％。
在手订单充裕,业绩前瞻性指标屡创新高,奠定全年高增长公司在手订单充裕,半导体板块订单旺盛。截至2021年6月30日,公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达去年全年的88％,其中半导体板块订单旺盛,达14.2亿元,占比82.6％,公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。
业绩前瞻性指标存货、合同负债屡创新高,主要系公司业务规模增加。中报披露公司存货9.75亿元,同比增长39.5％,较年初增长22.7％,其中未完工项目4.11亿元,发出商品3328万元,合计占比45.57％,完成验收后将确认收入;合同负债2.52亿元,同比增长59.93％,较年初增长47.62％。业绩前瞻性指标屡创新高,印证了公司业务订单旺盛,奠定全年高增长。
各业务板块发展加快,产品端＆客户端均有所突破
(1)高纯工艺集成系统:新增订单9.8亿元,技术攻关顺利。①新增订单大幅增长主要系一线客户持续扩展产能。②技术攻关顺利,深化介质系统国产程度:公司新产品半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)、干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)等已顺利接到客户订单,并已启动半导体制程设备侧气体供应模块(IGS)的研发项目,随着研发进程的推进,公司高纯工艺集成系统业务板块将持续稳健增长。(2)湿法清洗设备:单片湿法设备认证顺利,新老客户订单不断突破。①单片设备认证顺利,工艺覆盖面再度拓宽:公司具备提供28nm节点的全部湿法工艺设备能力,重视12寸单片设备发展,目前首批单片设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备分别交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。②公司订单与客户同步突破:湿法设备新增订单达4.3亿元,达去年全年85％,其中单片设备2亿元。上半年新增订单中有17台套是中国大陆(中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技)以及中国台湾(力积电)等老客户的重复订单;11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。
(3)晶圆再生:7月已正式量产,有望推动再生晶圆国产化进程。公司晶圆再生项目有望在2021年度贡献2个月度的产值,随着该项业务突破,将有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题,推动半导体产业链材料端国产替代进程。
公司发展战略清晰,朝工艺装备及材料核心供应商稳步迈进
从发展战略来看,公司以高纯工艺集成系统起家,并以此为核心,不断沿产业链向上游延伸,切入半导体制造核心设备与半导体材料领域。我们认为公司从工程配套系统业务逐渐转向设备、材料等核心业务,业务结构逐渐优化,商业模式的变迁将改变公司产业链地位,打开成长空间。未来公司将从高纯工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商,并积极向部分细分新兴下游产业链延伸。
投资建议
预计公司2021-2023年EPS分别1.06/1.39/1.59元,对应PE47.39/36.37/31.70X。首次覆盖,给予"增持"评级。
风险提示
下游晶圆厂资本开支不及预期,行业竞争加剧、全球贸易摩擦深化带来半导体全产业不确定性
[2021-09-01] 至纯科技(603690):技术不断突破,订单高增长-中期点评
■长城国瑞证券
事件:公司发布2021年半年报,2021H1公司实现营业收入9.20亿元,同比增长76.51％;归属于上市公司股东的净利润1.50亿元,同比增长395.51％。
事件点评:
集成电路产业高景气驱动公司营收高增长,净利润高增长主要由非经常性损益贡献。2021H1公司实现营业收入9.20亿元,其中高纯工艺集成系统的营业收入为5.81亿元,同比增长53.40％;半导体设备的营业收入为2.69亿元,同比增长254.02％;光传感及光器件的营业收入为0.69亿元,同比增长2.76％。公司营业收入高增长,主要受益于集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加。据国家统计数据,今年上半年国内集成电路产量同比增长46.07％。2021H1,公司扣非后归母净利润为4,263.52万元,同比增长69.06％,非经常性损益为1.08亿元,其中计入当期损益的政府补助7,801.84万元,该项目主要包括光电子项目补助6,780万元。
高纯工艺系统业务板块多项目研发落地、放量在即。2021H1,至纯集成获得了9.8亿元的新增订单,高纯工艺系统多种产品放量在即。经过2020年的研发投入,半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)已研发完成,并接到核心客户的首台订单,将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段;今年上半年,干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)通过多个12寸半导体工厂验证,并在6个月内获得超过80台设备的订单;首个服务于12寸半导体的电子级大宗气工厂处于建设高峰中,主要设备开始搬入,预计在2021年3季度进入调试,年底投入运行。
12寸单片设备不断突破,晶圆再生项目量产。1)目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。公司在更先进的14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。上半年新增订单中有17台套是中国大陆(中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技)以及中国台湾(力积电)等老客户的重复订单;11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。湿法设备的研发仍在持续投入中,湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。2)公司重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整合,又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产,产能需要一定时间爬坡,有望在2021年度贡献2个月度的产值。
订单高增长,半导体设备处于快速发展阶段。公司整体业务新增订单17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。报告期新增订单中,整个半导体板块新增订单14.2亿元,超过去年13.6亿元的订单规模,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。
综合毛利率下降,下半年有望回升。公司综合毛利率为30.87％,较去年同期下降3.21Pct。高纯工艺集成系统毛利率31.34％,同比下降0.42Pct;半导体设备毛利率23.91％,同比下降5.9Pct,主要系低毛利产品占比提升,下半年产品结构调整后有望回升;光传感及光器件,毛利率53.13％,同比下降2.22Pct。
投资建议:我们预计公司2021-2023年的净利润分别为3.39/4.09/4.92亿元,EPS分别为1.07/1.28/1.55元,当前股价对应PE为50/42/34倍。考虑集成电路行业处于高景气周期,公司设备研发不断取得技术突破,订单高增长,我们将其评级由"中性"上调"增持"投资评级。
风险提示:人才流失风险;行业竞争加剧风险;下游需求放缓风险。
[2021-08-31] 至纯科技(603690):业绩符合预期,订单延续增长态势-2021年中报点评
■上海证券
事件
公司发布2021年半年度报告,上半年实现营收9.20亿元,同比增长76.51％;归母净利润1.50亿元,同比增长395.51％;扣非归母净利润0.43亿元,同比增长69.06％。其中,2021Q2实现收入6.89亿元,同比增长68.87％;归母净利润0.75亿元,同比增长66.67％。营业收入同比增长主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加所致。归母净利润同比大增主要是收入规模整体增加、公允价值变动损益(0.38亿元)及补贴收入(0.78亿元)增加所致。公司上半年新增订单17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。
点评
高纯工艺系统已切入一线用户,新研发成果开始陆续接到订单少数本土高纯工艺系统厂商的产品和服务已进入全球一线客户,正逐步实现进口替代。公司的客户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电、力晶等下游行业领先者。
公司大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、工艺尾气处理系统、大宗气体系统等相关技术陆续通过验证并获得订单。其中,半导体级先进前驱体物料供应系统已研发完成,并接到客户的首台订单,将于2021年3季度进入验证阶段;今年上半年,干式特殊气体排放处理设备通过多个12寸半导体工厂验证,并在6个月内获得超过80台设备订单;首个服务于12寸半导体的电子级大宗气体工厂处于建设中,预计在2021年3季度进入调试,年底投入运行。上半年高纯工艺系统新增9.8亿元订单,是该业务去年总收入的1.14倍,未来业绩增长具有保障。
半导体湿法清洗设备又拓展新客户,高阶工艺设备已获取正式订单公司能提供到28nm节点全部湿法工艺,槽式设备及单片式设备均能满足8-12寸晶圆制造的湿法工艺需求,已切入中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等一线用户,今年上半年又开拓了绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等新客户。在技术储备上,公司持续开发符合高阶工艺应用的设备(如多反应腔、18腔等),在14nm-7nm技术方面已接到4台订单,预计将于2022年交至客户产线进行验证。上半年湿法设备新增订单4.3亿元,达到去年全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元,下半年将有8台12寸单片设备交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。
盈利预测
我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元,归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,对应当前股价的PE分别为65x/51x/43x。公司通过高纯工艺系统起家,和半导体一线厂商建立了良好合作关系,湿法清洗设备和高纯工艺系统业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升,公司估值有望重构。 在我国半导体产业面临外部打压背景下,国产替代是行业发展趋势,我们看好公司湿法设备的成长性。未来六个月内,维持"买入"评级。
风险提示
新产品拓展不及预期;行业竞争加剧;下游需求不及预期。
[2021-08-31] 至纯科技(603690):清洗赛道领航者,国产化替代正当时-中报点评
■安信证券
事件8月30日晚公司发布半年度业绩报告。报告期内,公司实现营业收入9.20亿元,同比增长76.51％％;实现归属于上市公司股东的净利润1.50亿元,同比增长395.51％％;实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润0.43亿元,同比增长69.06。
半年报业绩符合预期新增订单饱满21H1公司业绩大幅增长,主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2营收6.89亿元同比增长68.87％68.87％,环比增长198.27。毛利率及净利率分别3.01pct//+10.68pct系随着公司业务体量增长增加了销售费用70.44、管理费用((+64.46及研发投入35.83。截至报告期末,公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。
湿法设备发展迅速再生晶圆前景可期根据公司公告,上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％其中单片设备新增订单2亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主,而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告公司已经具备生产812寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术,目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线;14nm～7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产,产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。
高纯工艺系统持续扩展,为新兴业务导流作用明显:高纯工艺系统方面,根据公司公告,截至报告期末,至纯集成获得了9.8亿元的新增订单,一线用户持续产能的扩展给予公司持续的业务订单。根据公告,目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户,用户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士,三星,台积电,力晶等等,是下游行业的领先者。依托高纯工艺系统的良好基础,今年上半年半导体级先进前驱体物料供应系统(LDS)已研发完成并接到核心客户的首台订单,将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段干式特殊气体排放处理设备(DryScrubber)通过多个12寸半导体工厂验证,并在6个月内获得超过80台设备的订单首个服务于12寸半导体的电子级大宗气工厂预计在2021年3季度进入调试,年底投入运行。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元((+42％)、27.18亿元((+37％)、36.69亿元((+35％),归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元((+42.9％)、5.10亿元((+37％)、6.73亿元((+31.9％),对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元,对应PE分别为49倍、36倍、27倍。12个月目标价为80.1元,维持"买入A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期的风险;进口零部件渠道受阻的风险;出货放量不达预期的风险;股东解禁减持的风险
[2021-08-31] 至纯科技(603690):业绩符合市场预期,半导体业务拓展顺利-2021年中报点评
■东吴证券
事件:2021H1公司实现营业收入9.20亿元,同比+76.5％;归母净利润1.50亿元,同比+395.5％;扣非归母净利润0.43亿元,同比+69.1％。
投资要点
业绩符合市场预期,非经常性损益增厚净利润受益于半导体行业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加,2021H1公司实现营业收入9.20亿元,同比+76.5％;归母净利润1.50亿元,同比+395.5％,主要系非经常性损益较多,包括0.78亿元的政府补贴及0.48亿元公允价值变动损益等;扣非归母净利润0.43亿元,同比+69.1％。其中分产品来看,高纯工艺集成系统实现5.81亿元收入,同比+53.4％,占比63.2％;半导体设备实现收入2.69亿元,同比+254.0％,占比29.2％;光传感及光器件实现收入0.69亿元,同比+2.8％,占比7.5％。分季度来看,Q1公司实现营业收入2.31亿元,同比+104.1％,归母净利润0.75亿元,同比+605.28％;Q2实现营业收入6.89亿元,同比+68.9％,归母净利润0.76亿元,同比+67.12％。
产品毛利率有所下滑,控费能力优异抵消部分影响
2021H1公司综合毛利率为30.9％,同比-3.2pct,其中高纯工艺集成系统毛利率为31.3％,同比-0.4pct;半导体设备毛利率为23.9％,同比-5.9pct;光传感及光器件毛利率为53.1％,同比-2.2pct。2021H1公司净利率为16.1％,同比+10.7pct;扣非净利率为4.7％,同比-0.1pct。2021H1公司期间费用率为23.3％,同比-2.6pct,其中销售费用率为4.1％,同比-0.1pct,管理费用率(含研发)为17.11％,同比-2.3pct,财务费用率为4.4％,同比-0.1pct。
新签订单充足,合同负债＆存货稳定增长
公司新签订单充足,截至2021年6月30日,公司整体业务新增订单达17.2亿元,达到2020全年新增订单的88％。新增订单中,整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到2020全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。受益于新签订单充足,截至2021H1公司合同负债为2.52亿元,同比+59.9％;存货为9.75亿元,同比+40.7％。
盈利预测与投资评级:考虑半导体设备景气度持续提升＆清洗机国产化难度相对较低,我们维持公司2021-2023年净利润为3.46/4.83/7.16亿元,当前股价对应动态PE为53/38/26倍,维持"买入"评级。
风险提示:半导体业务进展不及预期;行业竞争加剧风险。
[2021-08-30] 至纯科技(603690):公司立足高纯工艺系统布局半导体相关领域,湿法工艺设备快速发展-2021中报
■申万宏源
公司公告:1)发布2021半年报:实现收入9.2亿元,同比增长76.5％,归母净利润1.5亿元,同比增长395.5％,扣非归母净利润4264万元,同比增长69.1％。其中二季度单季实现收入6.89亿元,同比及环比增速分别为69％、198％,归母净利润7553万元,同比增长67.1％,环比增长0.8％。
符合预期。2)发布可转债预案:计划公开发行不超过11亿元的可转换公司债券,用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。
随着湿法设备业务放量,收入快速增长,在手订单丰富;受费用项拖累,子公司波汇科技亏损,影响上半年利润。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重,目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。目前公司在手订单丰富,新增订单达17.2亿元,已经达去年全年88％,其中半导体相关的14.2亿元,湿法设备4.3亿元,包括2亿元单片设备。上半年公司综合毛利率31％,同比减少3.2pcts,其中21Q1、21Q2毛利率分别为41.5％、27.3％,主要系部分一次性研发支出及验证等费用影响,预计后期随着产品批量供货后,毛利率有望回升。波汇科技业务具有较强的季节性,上半年由于费用方面的快速增长等因素,导致亏损接近2500万元,对公司利润影响较为严重,我们下半年尤其是四季度影响逐步消除。
清洗设备是有望实现国产化最快突破的设备领域之一。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤,晶圆清洗变得更加复杂及重要。目前供应商主要为日本及欧美企业为主,国内约有三家公司能够提供中高阶湿法制程设备,包括至纯科技、北方华创及盛美股份,国产份额有望快速提升。
公司产品包括槽式设备(槽数量按需配置)及单片机设备(8～12反应腔)均可以提供8～12寸晶圆制造的湿法工艺设备。公司在上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司已经完成28nm全系列湿法设备的认证;获得较多国内一线客户认可,包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。
通过可转债募集资金,进一步拓展湿法工艺。可转债项目中,单片湿法项目计划共投资5.2亿元,通过转债投资2.8亿元,至纯北方半导体研发生产中心项目计划共投资3.3亿元,通过转债投资1.3亿元,两个项目主要是持续研发14nm及以下制程清洗设备产品,降低公司半导体零部件采购成本,提高整机设备及其零部件协同发展能力,并且扩大产能,缓解压力。集成电路大宗气体供应站项目计划投资3.9亿元,通过转债投资3.6亿元,该项目有助于公司丰富公司的业务种类,为公司创造新的业务增长点。
公司立足高纯工艺系统布局半导体相关领域,湿法工艺设备快速发展。公司在半导体相关业务领域不断拓展,从高纯工艺系统到湿法工艺设备,今年合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡,预计四季度开始贡献收入。后续持续加深在各领域的产能扩张及布局。我们认为,国内集成电路高景气至少持续三五年甚至更长时间,公司已形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局。新增2023年盈利预测,下调2021-2022年预测(原预测4.31、7.58亿元),预计2021-2023年净利润分别为3.02/4.21/5.24亿元。考虑到公司单片式湿法设备2021年下半年开始陆续交付,设备单价较高下,后续收入及利润增长加速,参考目前半导体设备相关公司北方华创、芯源微、中微公司、华峰测控2021年wind一致预期,平均PE约179X,上调公司至"买入"评级。
[2021-08-30] 至纯科技(603690):半导体业务订单大增,看好国产替代下公司的快速成长-中期点评
■国联证券
事件:公司于8月30日发布半年报,上半年实现营收9.20亿元,同比增长76.51％;
归属于上市公司股东的净利润约1.50亿元,同比增长395.51％;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润约4263.53万元,同比增长69.06％。
投资要点:IC产业高景气,高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加公司整体业务新增订单达到17.2亿元,达到去年全年新增订单的88％。期新增订单中,整个半导体板块新增订单14.2亿元,其中湿法设备新增订单4.3亿元,达到上一年度全年湿法设备订单的85％,湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。
半导体业务进入快车道,先进湿法清洗设备持续获得验证后正式订单清洗设备方面,目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。上半年新增订单中有17台套是中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技以及力积电等老客户的重复订单;11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单,将于2022年交付至客户产线验证。同时晶圆再生项目7月已正式量产,有望在2021年贡献2个月度产值。
盈利预测
基于半导体产业高景气度下公司新增订单的快速增长,上修盈利预测,预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元,看好公司半导体清洗设备的持续放量,维持"增持"评级。
风险提示
高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。
[2021-08-30] 至纯科技(603690):至纯科技上半年度净利润同比增长395.51%
■上海证券报
至纯科技发布半年报。公司2021年上半年实现营收920,476,042.92元，同比增长76.51%;归属于上市公司股东的净利润150,450,045.52元，同比增长395.51%;基本每股收益0.478元。
[2021-08-25] 至纯科技(603690):厚积薄发，发力湿法设备快车道-深度研究
■信达证券
高纯工艺系统龙头，湿法设备生力军。公司从高纯工艺系统起步，逐步拓展了BU1-5五个事业部，分别开展湿法设备/晶圆再生、高纯工艺系统、先进工艺材料、生物制药、光传感及光器件业务，有望发挥客户资源优势，实现各业务的协同发展。伴随业务线的不断拓宽，公司营收构成持续丰富，收入规模强劲增长。2016-2020年，公司营业收入从2.63亿元增长至13.97亿元，年均增速51.8%。利润方面，伴随湿法设备批量出货及高毛利的传感业务拓展，公司利润率逐年提升，2021年Q1毛利率达42%。作为晶圆厂上游的设备和系统供应商，至纯科技的成长将深度受益于国内晶圆代工产能的高速扩张。据我们统计，2021年国内晶圆厂新增产能将达64万片/月(等效8英寸)。公司亦于2019/20年分别通过可转债和定增融资扩产，满足下游需求增长。
系统:下游需求旺盛，本土客户全面覆盖。高纯工艺系统是晶圆厂建设的关键基础设施，承担化学品储存和输送的作用。高纯工艺系统约占晶圆厂建厂成本的8%，是晶圆厂建设中价值量较高的资本开支环节。除了集成电路制造，泛半导体领域的面板、光伏、LED，以及光纤、生物制药等行业亦有广泛的高纯工艺系统需求。高纯工艺系统业内龙头主要为美、日、台系厂商，国内厂商起步较晚，公司是其中的领军者。2020年系统业务收入8.63亿元，毛利率32%，领先竞争对手，并拥有上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户，2020年所有核心客户均给予了持续的重复订单。
湿法设备:客户验证顺利，单片批量交付在即。清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清洗设备市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家厂商占据了90%以上的市场份额，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局。当前湿法清洗设备国产化率约达20%。2020年，公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台，较2019年增长50%。同时单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元，同比增长112%。产品覆盖28nm以上全部制程节点，14nm预计明年开始验证。客户方面公司打入中芯国际、华润微、台湾力晶、TI等海内外龙头客户，获得重复订单。伴随公司持续扩产，我们看好公司在下游客户获得持续的份额增长。
业务拓展:晶圆再生填补国内空白，并购开辟传感业务。晶圆再生业务是湿法工艺的延伸，主要用于测试片晶圆的重复利用。伴随硅片用量的持续增长和价格上涨，晶圆再生需求旺盛。而当前国内供应商份额不足10%，国产替代意愿强烈。至纯合肥工厂是中国首个量产12英寸再生晶圆的工厂，建成后预计将形成年产168万片的晶圆再生产能。光传感是公司通过并购波汇开启的另一战场。2018年全球光纤传感器市场规模达43亿美元，空间可观。对波汇的并购有效增厚了公司的利润，2020年贡献3.17亿元营收和0.7亿元净利。
盈利预测与投资评级:我们预计公司2021/22/23年，营收分别为19.03/25.71/31.23亿元，归母净利润分别为3.16/4.24/5.24亿元，对应当前股价PE分别为61/46/37倍。对比同行业可比公司，至纯当前估值仍处于合理区间。考虑到公司作为湿法清洗设备的龙头公司，随着设备技术的不断突破，具备较强的国产替代确定性，市占率有望持续提升。首次覆盖，给予"买入"评级。
风险因素:行业周期性波动风险；下游客户扩产不及预期风险；国际贸易摩擦风险。
[2021-08-24] 至纯科技(603690):至纯科技拟发行可转债募资不超11亿元
■证券时报
至纯科技(603690)8月24日晚披露可转债预案，募集资金不超11亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，至纯北方半导体研发生产中心项目，集成电路大宗气体供应站及配套项目，补充流动资金或偿还银行贷款。
[2021-08-17] 至纯科技(603690):至纯科技蒋渊 修炼研发功力登上国际舞台
■上海证券报
随着全球半导体产能大扩张，业内预期半导体设备材料迎来产业“大年”。近日，至纯科技董事长蒋渊在接受上海证券报记者采访时表示：“半导体处于时间较长的景气周期，设备业务进入增长‘大年’，至纯科技的半导体板块业务持续增长。”
半导体设备业务的增长可持续吗?蒋渊认为，全球半导体产业格局面临较大变化，中国半导体产业迎来较大的发展，这给设备材料产业打开机遇窗口，那些已经做好准备的龙头公司将在未来1至2年加速成长。
“只有参与国际竞争，中国的半导体设备和材料产业才算真正发展起来了。”蒋渊说。
“我们对下半年保持乐观”
“今年订单依然饱和，我们的产能也在持续扩张。”提及半导体设备业务，蒋渊表示，公司的湿法设备在2020年的基础上继续保持快速增长，“我们对下半年保持乐观”。
至纯科技2020年年报显示，在湿法设备业务上，公司2020年新增订单5.3亿元，其中单片设备新增订单3.66亿元。
通过高强度资源投入和自主研发，至纯科技已具备8英寸、12英寸湿法工艺全系列设备，产品覆盖先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等细分领域的市场需求，并在各细分领域取得一线客户的订单。
“那些进入产业本土供应链的公司，未来将会加速发展。”蒋渊表示，基于半导体产业特性，一旦进入客户供应链，半导体设备材料公司往往可以在较长一段时期内持续取得稳定的业务份额。这也意味着，那些公司一旦占得先机，便可获得持续的增长和领先优势。
“随着制程演进，到28nm及以下先进制程，需要的清洗工序等增加，洁净度要求提高，单片设备的用量将大幅增加。”蒋渊称，历经高强度的自主研发，公司在江苏启东设立了湿法设备制造基地，公司自主研发的多个型号单片式湿法设备获得了国内重要用户的系列订单。
“跨界”再生晶圆有进展
在半导体领域，至纯科技的看点不只是湿法设备，其高纯工艺系统业务、再生晶圆业务同样可圈可点。
“高纯工艺系统也是今年的主要增长点之一。”对于这项“看家业务”，蒋渊介绍，公司成立20多年来，高纯工艺系统业务经历了光纤、制药、光伏、LED、平板显示等下游产业的大发展，集成电路、化合物半导体成为当前该项业务增长的主要驱动力。
蒋渊表示，公司还将把更多资源倾斜到半导体设备、晶圆再生等新业务上。至纯科技合肥至微项目7月在合肥新站高新区举行了量产仪式，这是国内首个量产的12英寸晶圆大规模再生工厂，填补了集成电路产业链又一空白。
“新站高新区是国家级电子化学品使用专区，公司在此设立了湿法工艺高阶联合实验室，公司将和用户一起在此进行相关工艺开发工作。”蒋渊介绍，公司从三方面对合肥晶圆再生项目立项进行考量：首先，市场需求明确，但国内12英寸晶圆再生领域处于空白阶段，项目可以产生不错的经济效益;其次，晶圆再生项目投资占比较大的环节有研磨设备、湿法设备、量测设备和高纯工艺系统，公司拥有湿法设备和高纯工艺系统，成本上相对有优势;再次，通过晶圆再生项目，公司可建立高阶的工艺验证和开发平台。
“晶圆再生业务今年可以产生收入，但还不会产生利润。”蒋渊表示，该项业务目前依然处于产能爬坡阶段。根据规划，该项目以14nm晶圆厂需求为设计基础，项目达产后将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。
将更多参与国际竞争
“进入湿法设备等半导体领域，至纯科技是‘谋定而行’，目标也很明确，就是在湿法设备领域获得一定市场份额，并有能力参与国际竞争。”蒋渊说，至纯科技自成立起就确立了“关注核心工艺，服务关键制程”的发展思路，在公司营收过亿元、有了一定积累后，就果断将目光投向半导体设备。也是从那时起，公司就深刻认识到，半导体是一个全球化的产业，中国公司未来只有站到国际舞台上，才算脱颖而出。
蒋渊表示，自2014年看到大基金(国家集成电路产业投资基金)设立，就感知到了中国半导体产业的大发展前景。她坚定地带领企业对接资本市场，以迎接半导体产业启动的机会。2015年，至纯科技起确定要投资研发湿法设备。
“没有原生态的创新，企业和产业都不能健康持续成长。”蒋渊说，当前是最好的时期，产业不缺创新需求，就看哪家厂商有决心、有定力、有耐力，能俯下身子踏实研发，量产出客户需要的高端技术和产品。至纯科技一直在按照计划，心无旁骛地前行在高端产品研发路上。
至纯科技在2018年年报中写道，在5年规划中(自2019年起)，湿法事业部有超200台各类湿法清洗机台的装机量;材料零部件事业部将投资和开发集中于28nm至14nm制程的高纯电子材料和相关零部件。
机会窗口期很长吗?蒋渊表示，下游厂商建立本土供应链带来的时间窗口并不会特别长，公司要力争在未来1至2年加速成长。在这之后的进入者，要抢占“先行者”的市场份额，会面临比现在更大的挑战。“当前，对已具备相关能力的中国厂商而言是千载难逢的机会。”
5年规划目标能如期完成吗?蒋渊表示，从当前趋势看，她非常有信心，更多地参与国际竞争，是她和至纯科技一直努力的方向。
[2021-07-28] 至纯科技(603690):清洗赛道佼佼者,国产化替代放量在即
■安信证券
深耕半导体高纯系统+晶圆清洗两大赛道,中国半导体国产化替代重要参与者。公司的主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及光学元器件,2020年公司3块业务的占比分别为61.8％、15.6％和22.5％。根据公告,公司在高纯工艺系统领域服务于一线IC晶圆厂,包括三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长存、长鑫、士兰微等头部客户。根据公告,在湿法装备领域,公司已经具备了湿法工艺全系列的设备,目前已经切入一线用户的高阶工艺(critical)应用,正进入产能爬坡和供应链自主的阶段;同事,14nm以及7nm工艺进阶功能的研发有序进行,预计2022年可以开展客户验证;公司旗下波汇科技则负责积极向光电传感及光电子元件器产业链延伸。
清洗是半导体设备核心赛道之一,"先进制程国产化突破"和"成熟工艺产能大规模建设"是中国清洗设备需求放量两大驱动力。根据SEMI的数据,2020年全球半导体清洗设备市场规模达到37亿美元。结合未来中国晶圆厂建设进度,我们估计国内每年装机需求将在15～25亿美金左右,维持高速增长。根据SEMI统计,湿法清洗设备(特别是12寸)被日美所垄断,超过95％以上的机台需要进口。全球半导体清洗设备行业的龙头企业主要是迪恩士DNS、东京电子、韩国SEMES、泛林半导体等,我国参与者包括至纯科技、盛美半导体、北方华创、芯源微等。根据中国国际招标网信息,从2019年～2021年H1中国主流晶圆厂清洗设备招标采购份额来看,我国半导体清洗设备的国产化率已经维持在10％～20％,突破最快,国产化率超过了其他大部分设备。目前公司的湿法设备包括槽式和单片式两大类,逐步突破直到28纳米节点的全部工艺,并切入中芯国际、华虹集团等主流大厂。
国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,开辟新增长点。根据SEMI预测,2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。SEMI统计,再生晶圆价格会跟随硅片正片价格上涨。目前硅片正片大厂19～20年并无大规模扩产动作,供应有限。2021年4月份左右,信越化学等巨头开始集中提价10～20％,是信越3年来首度涨价,体现全球性硅片周期上行。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升,成为公司新的业绩增长点。根据公告,公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线,项目建成后,将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。
20年订单大增,预计21H1继续快速放量,大客户验证进展迅速。根据2021年一季报,公司Q1实现营业收入2.31亿元,同比增加104.13％,实现归母净利润0.75亿元,同比扭亏。(年报披露)2020年,公司全年新增订单19.6亿元,同比增加38％;其中,半导体板块新增订单13.6亿元,湿法设备新增订单5.3亿元,同比增加211％。在20年Q4,公司收入实现大幅增长(单季度营收增长超70％,归母净利润增长近400％)。其中,公司清洗设备的订单大增,其中槽式湿法设备规模化上量、供不应求,单片式设备有多台处于验证中。根据公告,公司提出2021年运营目标为:整体的营业收入目标和新增订单目标继续保持30％以上的增长,湿法工艺大幅提高成熟机型 的市占率,产能爬坡,毛利爬坡,并持续投入新机型研发。
投资建议:我们预计公司2021年～2023年的收入分别为19.84亿元(+42％)、27.18亿元(+37％)、36.69亿元(+35％),归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元(+42.9％)、5.10亿元(+37％)、6.73亿元(+31.9％),对应EPS分别为1.17元、1.6元、2.11元,对应PE分别为49倍、35倍、27倍。首次覆盖,我们给予至纯科技12个月目标价为80.1元,给予"买入-A"投资评级。
风险提示:先进制程工艺突破不达预期,出货放量不达预期,股东解禁减持
[2021-07-01] 至纯科技(603690):国产替代趋势下,半导体湿法清洗设备迎增长机遇
■上海证券
估值与投资建议
我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元,归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,对应当前股价的PE分别为41x/32x/27x。公司通过高纯工艺系统起家,和半导体一线用户建立了良好合作关系,湿法清洗设备和系统集成业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升,公司估值有望重构。在我国半导体产业面临外部打压背景下,国产替代是行业发展趋势,我们看好公司湿法设备的成长性,未来六个月内维持"增持"评级。
高纯工艺系统产品线丰富,已切入下游多家一线知名厂商高纯工艺系统广泛应用于集成电路、显示屏、光伏、生物制药及食品饮料等领域,下游应用领域良好发展势头有利于驱动高纯工艺系统的需求增长。公司具有涵盖气体、化学品等高纯工艺设备及系统的丰富产品线,拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、大宗气体系统等相关技术研发,加大了对工艺减排、产品服务化的布局。公司在高纯工艺系统领域属于具有承接大型项目的实力与经验的本土企业,产品已切入中芯国际、士兰微、长江存储、台积电、海力士等知名厂商。
不断加大在半导体湿法清洗设备领域布局,订单保持快速增长态势2020年中国大陆成为全球最大半导体设备市场,销售额达到187亿美元,占全球26.3％。随着全球"缺芯"蔓延,半导体企业纷纷扩产,未来对设备需求有望保持增长态势。公司湿法设备能提供到28nm节点的全部湿法工艺,14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证。客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。2020年湿法设备出货量超过30台,新增订单5.3亿元,增长211.8％。
通过并购进入光纤传感及光电子元器件领域,培育新的业绩增长点2019年公司通过并购从事光纤传感及光电子元器件业务的波汇科技来扩大业务边际领域。公司正在扩建光电子材料及器件产能,丰富产品结构的同时拓展下游应用领域至5G、数据中心、工业、医疗等高新行业,有利于培育新的业绩增长点。此外,公司通过在高纯工艺系统及工艺制程设备中运用波汇科技的光传感技术,可进一步提升公司的市场竞争地位,通过发挥业务协同效应,提升产品价值和市场空间。
风险提示:(1)行业竞争加剧,新增订单不及预期;(2)新产品拓展不及预期;(3)下游需求不及预期。
[2021-06-02] 至纯科技(603690):受益国产替代大潮,单片清洗设备即将批量交付-首次覆盖
■国泰君安
结论:市场认为公司业务领域拓展过广,我们认为公司现阶段集中精力湿法清洗设备业务,目前订单已排到2022年,单片清洗设备将于21H2批量交付,清洗设备将进入新阶段。预计2021-23年EPS为0.96、1.28、1.69元,基于可比公司PE/PS估值,给予目标价57.6元,对应2021年60倍PE,首次覆盖,给予增持评级。
把握芯片制造资本开支扩张高景气,受益国产替代提速。21Q1全球晶圆代工资本开支达到101.7亿美元,创历史新高,同比+38.7％,4月台积电将2021年资本开支上调至300亿美元,较年初提升10-20％。中国大陆成为全球最大半导体设备销售市场,预计2021-22年将进入产能密集投放期,与此同时美国对中国半导体产业链封锁从芯片向设备紧逼,设备国产化得到空前重视。
聚焦湿法清洗设备,单片设备即将批量出货。2018-20年公司研发支出从0.37亿增至1.5亿,而高纯工艺事业部及波汇研发支出增加不多,增量投入主要投向清洗设备。公司槽式设备自2019年批量出货以来,已获得中芯等一线厂商重复订单,单片设备2020年也获得3.7亿批量订单,预计21H2将批量出货。
借助清洗设备优势,卡位晶圆再生蓝海市场。现阶段国内晶圆再生产能不足,公司借助清洗设备及系统集成优势,率先投产,随国内晶圆产能持续扩大,公司后续将继续增加产能。
风险提示:疫情反复影响产品交付进度,商誉减值风险
[2021-05-10] 至纯科技(603690):在手订单保持增长,半导体板块是重点发力领域-2020年年报及2021年一季报点评
■上海证券
公司动态事项
公司公布2020年年报和2021年一季报,2020年实现收入13.97亿元,增长41.63％;归母净利润2.61亿元,增长136.36％;扣非归母净利润1.11亿元,增长22.2％。2021Q1实现收入2.31亿元,同比增长104.13％;归母净利润0.75亿元,去年同期亏损0.15亿元;扣非归母净利润0.03亿元,去年同期亏损0.17亿元。
事项点评
毛利率不断改善,资产负债率持续降低,2021Q1扭亏为盈
2019年以来公司毛利率不断改善,从34.35％上升到2021Q1的41.55％;资产负债率从2018年的69.47％降至2021Q1的42.7％。得益于收入大增(同比增长104.13％)以及管理费用、财务费用占收入比重降低(分别降低8.83个百分点、6.09个百分点),2021Q1和去年同期相比成功实现扭亏为盈。
在手订单保持增长,半导体板块是重点发力领域
2020年公司整体业务新增订单达到19.6亿元,较上年同期增加38％。2020年来自半导体行业的收入占比为54.20％,整个半导体板块新增订单13.6亿元,其中湿法设备新增订单5.3亿元,较上年同期增加211％,半导体业务继续行驶在快车道上。目前,公司在高纯工艺系统领域已形成从研发、设计、制造到供应链的较强竞争优势,主要服务于一线集成电路用户,竞争对手也均为国际厂商。在湿法装备领域,公司具备了湿法工艺全系列的设备,已切入一线用户的高阶工艺应用,正进入产能爬坡和供应链自主的发展阶段;对于14nm以及7nm工艺需求的进阶功能的研发,预计2022年可以提供给客户进行验证。
下游需求行业持续增长,公司积累了一批高端客户和合作伙伴
集成电路行业多年处于景气周期。2020年,我国集成电路产业中的制造业销售额为2560.1亿元,增速为19.1％;集成电路产量达到2612.6亿块,增速为16.2％。2020年全球主要半导体设备行业收入增长20％,其中中国大陆地区的半导体设备市场需求占全球的27％,稳居第一大市场,未来进口替代空间较大。在光传感与光电子行业,预计到2022年,全球光传感器市场规模将成长至1836亿元,2016-2022年复合增长率达5％,中国光传感器市场规模将成长至1180亿元,2016-2022年复合增长率达7％。公司的产品和服务不断完善,在以上领域积累了一批高端客户和合作伙伴,且基本为各自行业的领军企业或主要企业。高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户;半导体湿法设备领域如中芯国际、北京燕东、TI、华润等;光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼韦尔等。
投资建议
我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元,归母净利润分别为2.83亿元/3.65亿元/4.32亿元,EPS分别为0.89元/1.15元/1.36元,对应当前股价的P/E估值水平分别为34x/27x/23x。公司单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单,进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白;伴随自主研发的多个型号单片式清洗设备获得商用推进,公司的投资价值和潜力进一步凸显。首次覆盖,未来六个月内给予"增持"评级
风险提示
新产品拓展不及预期;行业竞争加剧;下游需求不及预期。
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