603690至纯科技资产重组最新消息
≈≈至纯科技603690≈≈(更新:21.08.31)
★2021年中期
●董事会报告对整体经营情况的讨论与分析:
一、 报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
（一）主要业务
公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法
清洗设备研发、生产和销售；光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
1、高纯工艺系统
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干
湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领
域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液
供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大
干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。公司在用户价值上聚焦六
个词：“高纯、工艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的
同时，在减排和工艺数字化领域也投入研发，有具体的产品和服务的部署，该领域的
投入兼具经济效益和社会效益。
高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控
及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客
户自购的工艺生产设备。
在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、产品服务化的布局。
高纯工艺系统的产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工
艺设备及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾
气处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及生
物制药、食品饮料等领域。
高纯特气柜高纯化学品柜
大宗气站
研磨液供应系统
前驱体介质系统
2、半导体湿法清洗设备
公司提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要
应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。
随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更
先进等级，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超
过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性；清洗设备及工艺也
必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降
低晶圆清洗成本和环境保护。
公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备（槽数量按需配置）
及单片机设备（8~12反应腔）均可以提供8~12寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备
可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一些特
殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。
在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多
反应腔、18腔等）。
公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、
自动控制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。
B200槽式设备S300单片式设备
特色工艺单片B300槽式设备
3、光纤传感器及光电子元器件
公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生
产及销售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度
监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面具
有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控系统、
光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件（滤光片、
激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用于电力电网、石
油石化、城市地下综合管廊、数据及通信等领域。
（二）经营模式
1、高纯工艺系统
通过获取客户需求与业务信息，以竞标为主、议标为辅的方式实现销售。
公司以项目为单位为客户进行定制化的设计、生产和安装，以满足不同客户的生产工
艺要求。根据不同项目要求分次进行采购为主，同时针对长交期或者产业上游元器件
交期波动的情形进行一定量集中采购以实现提前备货。中标以后，由技术中心以项目
为单位制定系统的整体设计方案；系统所用的专用设备由制造中心根据技术中心的要
求制定设备的生产工艺流程，在公司的生产车间完成；工程中心负责管道、阀门、仪
表、配件的客户现场预制，再根据设计方案的要求完成整个系统的安装。
2、半导体湿法清洗设备
公司主要采取自主研发的模式，研发流程主要包括概念与可行性阶段、Alp
ha阶段、Beta阶段、量产阶段。在概念与可行性阶段，研发部根据市场情况需求提出
新产品的构思，综合比对多种技术方案以确定适合客户需求的研发。在Alpha阶段，
公司根据市场需求进行机台设计、组装开发和验证。在Beta阶段，公司将机台送往目
标客户以完成生产线的大批量验证。在量产阶段，公司设备技术已经成熟，根据市场
需求进行量产。
公司主要根据生产计划、物料清单及相关原材料的库存情况制定相应的采
购计划，公司注重供应商的选择，目前已与全球多家供应商建立了长期、稳定的合作
关系。
公司采用“以销定产”的生产模式，根据客户的销售订单情况及相关技术
规格制定生产计划并组织生产，由公司销售部门直接销售给客户，并完成合同回款、
客户信息与结果反馈等工作。
3、光纤传感器及光电子元器件
在电力、石油石化领域，公司主要是通过招投标方式获取最终客户的销售
合同，一般的销售流程为：获取客户采购信息，确认参加报价或者竞标，按照客户要
求进行报价或者竞标，成功后获取供货资格，最后签订销售合同。
在城市地下综合管廊、轨道交通领域则是通过总承包商向最终用户提供产
品解决方案。通过总承包商获取客户合同后采购本公司的定制化产品，从而实现销售
。
公司滤光片、激光管帽等光电子元器件业务直接客户为光通信器件厂商。
根据客户需求，在完成招投标流程并中标后，公司将样品送至客户处进行质量、规格
等相关测试。待测试满足标准后，公司与客户签订销售订单，产品产出后发货至客户
处，待客户验收无误后确认收入。
公司建立了合格供应商制度，采购以项目为导向，根据项目进度编制采购
计划，对于自制产品常用材料会安排做部分安全库存备货，并结合交期和优先等级进
行以销定产的生产排产模式。
（三）行业情况说明
1、高纯工艺系统
在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初
应用在半导体行业。随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导
体产业，即皆以半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀
、CVD成膜等均需使用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系
统的大量需求。
目前少数本土供应商的产品和服务已经顺利进入全球一线客户，竞争地位
不断增强，正逐步实现进口替代，包括系统的替代、设备的替代乃至元器件层的替代
。行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，行业内呈现出高等
级高纯工艺市场集中度较高、低等级市场较为分散的竞争格局，本土主流供应商的竞
争地位不断增强。
目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹华力、
华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行
业的领先者。
2、半导体湿法清洗设备
随着半导体芯片工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流
程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进
制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加
清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得
更加复杂、重要及富有挑战性。
目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主
，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北
方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。目前至纯科技是国内能提供到28
纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。
目前公司湿法设备已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫
存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等，均为所在下游行业的领先者。其中公司单
片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前
单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。截止到2021年6月30日
，湿法设备累计申请专利133项（其中发明专利76项），已授权实用新型专利27项。
公司12寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中
国大陆以外高端清洗设备市场；公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国
内（启东）湿法设备制造基地制造，并有序展开扶持供应链的本地化。伴随自主研发
的多个型号单片式清洗设备获得商用推进，公司的投资价值和潜力进一步凸显，业务
潜力有望进一步释放。
3、光纤传感器及光电子元器件
近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能
电网、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成
为拉动全球光传感器市场增长的主要力量。光纤传感器为光传感领域下属细分子行业
，以光纤传感技术为核心技术。光纤传感技术是一种以光纤中的导波原理为理论基础
的新型传感技术，以光纤为媒介感知和探测外界被测信号。我国信息技术的迅猛发展
以及物联网产业的兴起带动了光纤传感器行业的快速发展。目前，光纤传感器的用途
已非常广泛，电力电网、输油管道、城市地下综合管廊、轨道交通、隧道、大楼整体
建筑等领域都可以通过铺设光纤与互联网连接起来，将监测信息传给任意设定的终端
进行远程监测与控制，使各类大型基础设施的安全状况可以获得连续不间断的监控，
并提供预警信息，从而构成一个大规模、高度可靠和低能耗的光联网基础感知神经网
络，融入物联网技术发展的需求当中去，推动物联网产业的发展。
光通信器件是构建光通信系统与网络的基础与核心。光通信器件按照其物
理形态的不同，可分为芯片、光有源器件、光无源器件、光模块与子系统四大类。在
光通信器件中，光模块为光电转换的核心设备，光模块由特定光器件封装而成。根据
咨询机构Ofweek的数据，光器件为光模块重要构成部分，占光模块成本约为73%。公
司主要产品滤光片、激光管帽等为光器件重要构成部分，占光器件成本约10%。
光电子元器件行业为光通信领域上游行业。光电子元器件是利用电-光子转
换效应制成的各种功能器件，是光电子技术的关键和核心部件，其技术发展对光电子
产业乃至整个电子信息产业有着重大影响，代表着现代光电技术与微电子技术的前沿
研究领域。从光电子元器件的应用来看，主要应用领域如下：①光通信领域的光通信
器件（芯片、光模块、光器件等）、光纤光缆等光通信器件；②显示领域的液晶显示
面板、OLED显示面板等光显示器件；③照明领域的LED照明芯片、LED照明模块、OLED
照明面板等光照明器件；④传感领域的图像传感器、光纤传感器、红外传感器、环境
光传感器、激光传感器等光传感器件。
二、经营情况的讨论与分析
2021年上半年，新冠病毒依然在全球肆虐，但公司仍按既定目标取得成绩
并持续健康发展。报告期内，公司半导体板块业务持续发力，生物制药和光传感光电
子业务板块发展良好，公司整体实现营业收入9.20亿元、归属于上市公司股东的净利
润1.50亿元、总资产65.18亿元、每股收益0.478元；较上年同期分别增加76.51%、39
5.51%、9.43%、301.68%。
截至报告期末，公司整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增
订单的88%。报告期新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备
新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备
新增订单2亿元。公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。
公司在2017年初上市后坚定地将有限资源全力投入半导体业务中的湿法设
备的研发和产能建设，同时投入资源将高纯工艺系统设备产能也扩充了两倍。历经三
年高强度的研发投入和产能准备，在2020和2021两年的经营中，看到了当初部署和投
入的有效产出。公司在2019年和2020年就部分长交期零部件做了预见性备货，在近两
年的供应链扰动背景下为企业持续快速稳健的交付用户订单提供了保障。公司在2020
年和2021年将供应链的在地化建设作为工作重点之一。公司高级管理层识别经营风险
，提前部署化风险措施的实践在有序而审慎地开展中，公司始终追求可持续的、健康
的快速发展。
公司BU1（至纯集成，高纯工艺系统）：截至报告期末，至纯集成获得了9.
8亿元的新增订单，一线用户持续产能的扩展给予公司持续的业务订单。高纯工艺系
统不是普通的配套类系统，而是和制程设备连为一体的工艺支持系统，其中尚有几个
介质系统在先进制程产线依然以进口为主。2017年-2019年，公司将有限的资源重点
投入到湿法设备的研发中，2020年资源稍缓解即在至纯集成也开始投入资源开启新的
研发。经过2020年的研发投入，半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS）已研发完
成，并接到核心客户的首台订单，将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段；今
年上半年，干式特殊气体排放处理设备（DryScrubber）通过多个12寸半导体工厂验
证，并在6个月内获得超过80台设备的订单；首个服务于12寸半导体的电子级大宗气
工厂处于建设高峰中，主要设备开始搬入，预计在2021年3季度进入调试，年底投入
运行。值得一提的是，此电子级大宗气工厂采用现场制气的方式在未来的10~15年向
先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。报告期内，至纯集成已经启动半导
体制程设备侧气体供应模块（IGS）的研发项目，将公司累积了超过20年的高纯介质
控制领域的技术和发展经验，服务于国内的各类干法设备厂商。至纯集成已经在武汉
，合肥，北京，无锡，深圳建设成立服务办公室，快速响应并更好的服务核心客户。
公司BU2（至微科技，湿法设备及晶圆再生服务）：在2021年上半年，至纯
的湿法设备业务保持健康增长势头。报告期新增订单达4.3亿元，其中单片设备2亿元
。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重，目前公司已可以提供28nm节点的
全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7台套1
2寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产
线。值得一提的是，报告期内，公司在更先进的14nm~7nm技术世代已接到4台套机台
多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。上半年新增订单中有17台套
是中国大陆（中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技）以及中国台湾（力
积电）等老客户的重复订单；11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销
售新突破（绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等）。湿法设备的研发仍在持续投入中
，湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。另外，公司重资投入的晶圆再生业
务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整
合，又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投
资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产，产能需要一定时间爬坡，有
望在2021年度贡献2个月度的产值。
至纯科技，作为国内本土的工业领域的制造供应商，围绕着国家产业发展
的方向，抓住集成电路支柱产业的国产化机遇，经过多年的技术研发、人员梯队建设
及资源整合，建立了包括技术研发与设计、设备在地化制造及售后服务等能力；在集
成电路领域，公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代包括半
导体湿法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务的能力；在光电子领域，公司依赖
强劲的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向，积极在国内拓展业务应用领
域，保持在市场上领先的竞争地位。
报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况
有重大影响和预计未来会有重大影响的事项
三、可能面对的风险
1、行业发展风险
公司为下游泛半导体领域尤其是集成电路行业的客户提供高纯工艺系统服
务、工艺装备及服务，下游行业投资的周期性波动、受国际形势影响程度等变化对公
司的市场需求、销售毛利率及销售回款等造成直接影响，从而导致公司业绩波动。
新冠疫情是百年不遇的全球性灾难，给全世界带来灾难和不确定性，加上
之前中美贸易为显性实则是资源和利益冲突的本质之下的中美关系复杂情势，公司会
审慎关注由此可能对于产业带来的波动风险。
2、经营风险
中美贸易战尚存在不确定因素，公司清洗设备部分零部件依赖进口，如贸
易战进一步加剧，使零部件渠道受阻，导致清洗设备生产、营收不及预期。
为抢占市场份额，竞争对手若采取价格战策略，将影响公司的销售及利润
。
3、人力资源和管理风险
公司致力于覆盖泛半导体产线提供从建设、投产到生产及后续技术升级的
全生命周期的服务。
经过多年的发展，公司的业务布局、项目管理、客户资源及工艺技术等方
面已有较为深厚的积累。随着公司业务板块、规模的扩张，对公司整体的风险控制和
管理方面提出了更高的要求。同时，公司目前所处的行业对高技术人才具有一定的依
赖性，集成电路等泛半导体领域的技术和产能向中国大陆转移，也带来了国内外同行
业对人才抢夺的风险。公司需要持续优化机制和建设好的企业文化吸引和留存优秀人
才。
4、各类金融风险
信用风险：对于应收账款、其他应收款和应收票据，公司设定相关政策以
控制信用风险敞口。公司基于对客户的财务状况、从第三方获取担保的可能性、信用
记录及其他因素诸如目前市场状况等评估客户的信用资质并设置相应信用期。公司会
定期对客户信用记录进行监控，对于信用记录不良的客户，本公司会采用书面催款、
缩短信用期或取消信用期等方式，以确保本公司的整体信用风险在可控的范围内。
流动风险：公司财务部门根据公司业务发展的速度与需求，通过多种途径
，以确保维持一定的备用资金，以满足短期和长期的资金需求。
汇率风险：本公司的主要业务位于中国境内，多数以人民币结算，公司境
外子公司及其业务以外币结算（如美元等），依然存在汇率风险。
四、报告期内核心竞争力分析
公司作为国内本土工业领域的制造供应商，围绕着国家产业发展的方向，
抓住集成电路支柱产业的国产化机遇，经过多年的技术研发、人员梯队建设及资源整
合，建立了包括技术研发与设计、设备在地化制造及售后服务等能力；在集成电路领
域，公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代（包括半导体湿
法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务）的能力；在光电子领域，公司依赖强劲
的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向，积极在国内拓展业务应用领域，
保持在市场上领先的竞争地位。
（一）技术与资质优势
截至报告期末，公司专利申请455项（其中发明专利200项），已授权专利2
70项（其中发明专利65项），软件著作权142件。
1、高纯工艺
公司已形成了以不纯物控制的高纯工艺系统为核心，涵盖泛半导体、生物
制药等下游行业前沿需求的核心技术体系，并成功完成了多项高纯工艺系统核心设备
及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司紧密跟动下游各主
要行业新技术、新工艺，一直专注于满足高端制造业客户不断提升的制程精度要求，
获得了客户的广泛认可。公司大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、工艺尾气处
理系统、大宗气体系统等相关技术及关键部件的开发与应用。
2、湿法设备
公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计
与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技
术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本。公司已经具备生产8-12
寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖晶圆制造中包
括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需
求，且已经在各细分领域取得一线客户的订单。
3、光电子
公司在光传感器与光电子技术方面，产品线丰富，在短、中、长、超长距
分布式光纤振动监测、分布式光纤温度监测、光纤光栅传感系统以及模式识别智能算
法、智能视频、软件平台、真空镀膜等方面具有核心技术，特别在模式识别智能算法
领域能够实现高精度、高响应、低延时的大数据分析能力，有效提升其核心产品的市
场竞争力，多项技术已达到国际先进水平。公司拥有多项发明专利，同时公司还参与
编制了多项分布式光纤传感器国家标准，自主研发产品获得了国家消防电子产品认证
、3C认证、德国VdS认证及其他国家权威检验检测部门有效性验证。
（二）客户优势
公司通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，在行业中形
成了良好的口碑和信誉，积累了一批高端客户和合作伙伴，且基本为各自行业的领军
企业或主要企业，高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰
微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户；半导体湿法设备领域如中芯国际、
北京燕东、TI、华润等；光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼
韦尔等；光通信领域，公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网（837597.O
C）、储翰科技（831964.OC）等知名企业建立了良好的合作关系。
（三）人才优势
公司拥有众多行业专家人才，该等人员大都拥有相关领域全球领先企业的
多年从业经历，技术实力强、管理水平高。公司通过提供良好的平台，促使专业人才
充分发挥其研发创新经验、生产经验和企业管理经营经验。光纤传感器、光电子元器
件行业公司秉承开放式研发理念，坚持以自主研发为主，合作研发为辅，拥有一支行
业经验丰富，背景专业、创新能力强、跨学科、国际化的技术团队。此外，公司为开
拓国际市场，成立了国际化的销售团队，引进知名行业专家共同开拓欧洲市场。
（四）业务布局与协同优势
公司以高纯工艺技术为核心，扩展至工艺系统中关键制程设备，逐步向工
艺生产耗材及核心部件、关键生产环节配套服务及智能生产系统发展，立足自身的技
术、资源的协同效应，满足核心客户生产链多环节的服务需求，力争实现公司从高纯
工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商，并积极向部分细分新兴下
游产业链延伸的战略目标。
★2020年年度
●董事会报告对整体经营情况的讨论与分析:
一、经营情况讨论与分析
2020年，虽然新冠病毒在全球肆虐，但公司仍按既定目标取得成绩并持续
健康发展。
报告期内，公司半导体板块业务持续力，光传感光电子业务板块发展良好
，公司整体实现营业收入13.97亿元、总资产59.57亿元、归属于母公司所有者净利润
2.61亿元、每股收益1.013元；较上年同期分别增加41.63%、82.88%、136.36%、122.
64%。
2020年，公司整体业务新增订单达到19.6亿元，较上年同期增加38%。2020
年整个半导体板块新增订单13.6亿元，其中湿法设备新增订单5.3亿元，较上年同期
增加211%，湿法设备订单中单片设备新增订单3.66亿元，半导体业务继续行驶在发展
快车道上。在2020年因COVID-19疫情出现而至少损失2个月时间的背景下，公司的经
营在全体至纯科技成员的努力下取得了好成绩。
（一）积极战略部署，优化组织架构
自2017年上市元年，公司投资设立了至微科技作为湿法设备事业部研发生
产销售的主体（BU2），子公司更名设立了至纯集成作为高纯工艺业务经营和发展的
主体（BU1），收购了波汇科技作为光电子业务经营和发展的主体（BU5），2019-202
0年公司并购了珐成制药与广州浩鑫，成为公司业务中的生物制药业务经营和发展的
主体（BU4），2020年投资成立了至一科技作为先进工艺材料业务经营和发展的主体
（BU3）。至2020年度结束，公司优化了整体板块和各事业部的组织架构，公司各业
务板块及事业部已完成各自子公司的创建及组织架构的优化，形成了集团职能平台和
基于客户、产品和区域三个维度的事业部制
（BU1-BU5）组织架构。各个事业部在集团宏观领导下充分授权，拥有框架
下的完全独立的经营自主权，对产品/服务的研发、设计、供应链、制造及销售活动
的一体化进行统一领导，以用户为中心开展以满足用户需求为价值创造的研发生产等
经营活动。事业部初具各自绽放态势。集团对公司的公共资源（管理资源、研究资源
、财政资源、人力资源、信息资源、试验资源、认证资源等）进行管理，就重大决策
控制和服务，以助力事业部集中优势资源和精力突破市场难点，占据市场高地，集团
对事业部进行指导和监督。公司将在研发、基础设施和职业教育方面进行长期投入。
公司进入构建全面组织能力的重要阶段，向卓越组织进发。
（二）积极应对疫情挑战，主营业务持续发力
2020年初在疫情严峻期间，公司管理层全力投入战斗，在保证安全的情况
下，有序组织，科学安排。
公司BU1（高纯工艺系统）在2月中下旬已经恢复了80%的生产能力，并前瞻
性的在武汉，无锡，上海，北京等地提前自我隔离，保证了核心客户现场持续稳定的
生产力。为客户的持续生产，甚至紧急扩产做好了充分的支持。从技术研发、产品制
造、服务等不同维度提升了对客户需求的及时充分响应。付出的同时，市场也给予了
真实的反馈。2020年所有核心客户均给予了持续的重复订单，如中芯，华力，海力士
，长鑫，士兰微，惠科等等，2020年订单数再创新高。制造能力有了极大的提升。通
过高纯工艺设备的系列化设计，模块化设计，有序调整工序，做到生产批量化，产品
弹性化。年度制造生产量环比增长超过50%，人均单位产值增长突破20%。有力的支持
了BU1的业务发展。
公司BU2（湿法设备及晶圆再生服务）首批单片湿法设备交付并多工艺顺利
通过验证。疫情背景下BU2的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台。同
时单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元。值得一提的是，BU2的湿法设备获得力
晶台湾的第二和第三次重复订单。2020年，BU2交付给客户的湿法工艺设备，发货至
全国各地，还有海峡对岸的台湾新竹。
湿法工艺设备所交付的晶圆技术节点从0.35um到28nm,用来从事先进工艺、
功率器件、微机电器件以及第三代化合物半导体等集成电路的制造与研发。
公司BU4（生物制药）顺利完成君实生物临港工厂的智能化系统交付工作、
承接英国利洁时太仓新工厂整套工艺系统模块化项目、完成重庆市重点项目极泽生物
人造熊胆粉系统工程。其中君实生物临港新工厂智能化系统是目前国内最先进的生物
制药智能化工厂之一，包含了国际最先进的PIAS,BMS/PEMS,EMS,MES,DCS,AS/RS/WMS
，OA/IT等系统。公司作为该项目智能化系统总包单位从设计到安装调试历时一年半
分阶段交付，已于2020年10月全部顺利交付完成。此项目获得业主及同行高端评价并
获得上海市奖励。
公司BU5（光传感与光器件）基于分布式光纤传感技术和激光气体探测技术
的“油气站场+线路+高后果区”的全方位保护的一体化智慧管网整体解决方案，紧贴
国家油气管网集团“智慧管网、数字管网”建设目标，在2020年国家油气主管网及省
管网取得重大突破，进入规模化应用阶段。基于光电传感技术及云端平台的智慧安全
城市解决方案完成阶段性成果，并开始在智慧燃气、智慧管廊等城市重大基础设施安
全项目中发挥重大作用。
BU5光器件业务板块是2020年5G大建设的第一年，其多年持续的研发厚积薄
发，为5G基站建设提供了大量的高端滤波片，当年出货5G基站无源模块用滤波片超过
500万片。
（三）重经营重管理，抓营收质量
公司立足高纯工艺核心技术，打造湿法清洗设备研发和制造平台，同步发
展相关工艺生产耗材及核心部件、关键生产环节专业服务及智能生产系统发展，协同
半导体领域应用技术、同类客户资源，满足客户生产链多环节、多样化的服务需求。
在招投标、商务谈判等类似流程和特点的业务间实现协同效应，打造技术
、资本、客户等资源的共享平台。
在公司秉承的价值观的基础之上，公司的人才晋升和分配机制围绕营收质
量的量化结果做持续优化，打造能打硬仗的团队。
（四）资本市场融资为战略落地提供资源保障
公司已完成非公开发行股票工作，募集资金用于半导体湿法设备及光电子
材料与器件，为公司业务的快速发展、经营战略的实现提供资金支持。
（五）积极产业布局、加强基础能力建设
报告期内启东的生产基地已经投入使用，产能逐步提升；公司合肥晶圆再
生项目基地基础建设完成，晶圆再生和腔体部件清洗及表面处理项目也已经基本通线
待试生产，合肥的工厂同时配置了为用户做湿法的工艺验证和工艺开发的联合实验室
，测试设备完全对标晶圆厂，为工艺开发打好了基础。合肥晶圆再生项目拟成为国内
第一条投产的十二英寸晶圆再生专业工艺服务，该项目以14纳米晶圆厂需求为设计基
础，将服务于中国半导体高阶市场。此次项目建成后，将形成年产168万片晶圆再生
和120万件半导体零部件再生产能。
各事业部在有限资源的条件下成功完成年初预定的业绩目标；同期内通过
投资布局半导体装备相关的化学品及耗材领域，提供下游客户生产期所需的耗材和服
务。
公司围绕设备、材料、工艺三位一体的战略，为下游客户提供全生命周期
的服务；着眼行业未来发展趋势，兼顾外延式发展，提升公司的持续发展与盈利能力
。
二、报告期内主要经营情况
报告期内，公司半导体板块业务持续发力，光传感光电子业务板块发展良
好，公司整体实现营业收入13.97亿元、总资产59.57亿元、归属于母公司所有者净利
润2.61亿元、每股收益1.013元；较上年同期分别增加41.63%、82.88%、136.36%、12
2.64%。
三、公司未来发展的讨论与分析
(一)行业格局和趋势
1、半导体行业
从全球范围来看，集成电路产业正在发生着第三次大转移，即从美国、日
本及欧洲等发达国家向中国大陆、东南亚等发展中国家和地区转移。展望未来，国家
产业政策扶持、供给侧改革等宏观政策贯彻落实，国内集成电路产业将进一步发展壮
大，同时AI、智能网联汽车、5G、超高清视频等新兴应用领域的发展，将成为半导体
市场增长的驱动力。集成电路受到全行业高度关注，产业基金与企业资本双轮驱动,
围绕智能汽车、智能电网、人工智能、物联网、5G等领域进行投资规划，进一步促进
国内集成电路产业发展。
公司作为泛半导体产业，尤其是集成电路行业在国内具有较强竞争力的服
务商之一，为集成电路产业客户提供高纯工艺系统、工艺装备和工艺材料的产品和服
务。不论是国内芯片制造用户新增FAB厂、现有产能扩产，还是工艺提升，均需采购
更多数量以及更为先进的半导体设备和配套相关高纯工艺系统，目前国内半导体设备
的厂商正在用户的信任和期待中砥砺前行努力达到具备全球竞争力水平。公司“立志
成为国内领先的半导体设备、工艺系统及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞
争。公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，“立志成为国内领先
的半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞争。
2、光传感与光电子行业
根据中国电子元件行业协会信息中心的数据，中国光传感器市场规模达778
亿元，约占全球市场规模的57%，预计到2020年将达到1,180亿元，占比进一步上升至
64%。近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能电网
、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成为拉
动全球光传感器市场增长的主要力量。
未来几年，国家储备战略性放缓，但在输油气设施建设方面投资加大，智
慧管线建设加速，管道完整性建设被各大油气管道公司提升到战略高度；国家发改委
2018年底密集批复各城市2018-2023年轨道交通线路规划，待建项目持续增加；国务
院提出管廊项目市场量化目标，各级地方政府纷纷响应启动建设综合管廊示范工程；
智慧消防平台将作为应急体系的一部分，市场需求巨大。
公司全资子公司波汇科技凭借多年来的技术积累及市场开拓，开发出一系
列具有自主知识产权的核心技术，波汇科技技术全面，产品线丰富，除在光纤传感领
域拥有核心技术外，在模式识别、深度学习、智能算法、智能视频、软件平台等方面
也具有核心技术，且多项技术已达到国际先进水平并成功打入国际发达国家市场。同
时，波汇科技作为行业内少数具有垂直集成制造能力的厂商之一，拥有从基础光学元
器件（光学滤光片、激光管帽等）、传感设备和系统到数据分析和应用集成软件平台
的研发和规模化生产能力。随着智慧城市、综合管廊的建设需求增加及光电子产业的
发展，公司光传感与光电子业务具有广阔的发展空间。
(二)公司发展战略
公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，“立志成为国
内领先的半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞争
。
至纯科技总部和研发中心位于上海市闵行区紫竹国家高新区，生产制造中
心在启东、广州和平湖，服务中心在合肥，并在日本、韩国、台湾均设有研发设计子
公司，布局上充分利用了长三角地区各地优势互补，并在研发端能利用全球的优势人
才资源。至纯科技研发机构拥有上海市市级企业技术中心、上海市市级高纯工艺创新
中心，下设联合实验室，同时公司旗下设有2个院士专家工作站（半导体领域和光电
子领域）。
至纯科技积极跟动客户的工艺需求和创新，建立了自主研发的科研创新体
系，集团目前已申请专利447项（其中发明专利近192项），已授权专利252项（其中
发明专利56项），软件著作权114项。
至纯科技努力成为这样一个企业：用户首选的合作伙伴，员工首选的发展
平台，股东首选的投资对象，行业中诚信和卓越的典范。
至纯，本着“规划一片森林，让树木自由生长”的人才发展理念，持续建
设“共建设、同分享”的机制。我们的目标是为客户、员工和社会创造持续的价值。
至纯科技的目标是在既定的领域里建立自身的专业优势为用户提供价值，以现代企业
制度为基础，成为治理、经营和管理走向成熟的卓越专业企业。
公司形成了六大事业部，且均以子公司经营主体的方式运行，分别是至纯
集成（BU1-高纯工艺系统）,至微科技（BU2-湿法设备及晶圆再生服务）,至一电子（
BU3-电子材料及部件），珐成浩鑫（BU4-生物制药工艺系统），波汇科技（BU5-光传
感与光器件）,驭航智能（BU6-工艺数字化）。各事业部作为独立经营法人主体，由
事业部总经理带领核心团队，承担各自的战略定位下的经营任务。
公司在战略实施上，分十年展望、五年规划、三年路径和年度计划来落实
。公司在上市元年根据对接资本市场后可以配置的资源预期，调整了相应的战略目标
（2018-2028）。2021年度是上市后战略规划落地的第4年。
在五年规划中，公司的目标是系统集成事业部（BU1，至纯集成）每年目标
超过10亿订单贡献；湿法事业部（BU2,至微科技）五年内有超过200台各类湿法清洗
机台的装机量；材料零部件事业部（BU3，至一电子）将投资和开发集中于28-14纳米
制程的高纯电子材料和相关零部件；湿法事业部（BU2,至微科技）投资和发展晶圆再
生服务；生物制药和食品饮料领域（BU4,珐成浩鑫）大力发展模块化工艺系统；光纤
传感业务和光器件业务（BU5,波汇科技）成为细分应用龙头；大力推广生产工艺系统
数字化软件。公司将重点打造湿法工艺联合实验室，和用户、大学一起开发工艺、装
备、材料一体化的关于特殊清洗工艺的系统解决方案。公司将不遗余力地建立良好机
制，建立国际化的人才团队，打造国际化的技术平台和科学管理的模式，汇集优秀团
队，使公司成为国内领先、国际先进的高科技集团。（特别提示：上述目标为公司五
年规划、三年路径和年度经营目标制定时的内部管理控制指标，不代表公司盈利预测
，能否实现取决于市场状况变化、经营团队的努力程度等多种因素，存在很大的不确
定性，请投资者特别注意）。
公司未来战略重点：横向延伸、上下延展、创新驱动。
1、横向延伸发展
公司十多年来，服务了数百家高科技产业的用户上千个生产单元，积累了
良好的信赖度。这些用户除了原先公司的高纯气体和化学品工艺系统为主的需求，在
诸如设备、材料、服务、智能制造等系统均有高要求的需求，很多依然都是全部进口
。
公司上市后资金和商誉有大幅度提升，针对同一客户可以提供更全面的产
品和服务。
公司横向延伸发展的抓手：围绕高纯、工艺的相关多元；围绕进口替代。
2、上下游延展
上游：高纯工艺系统以设计为核心外，因其工作表面是内表面，大量的高
纯泵阀、管件、仪表和过滤器等部件均需要进口，其中不乏高纯氟类部件是战略管控
物资，需要进口替代以保障供应链安全。
下游：高科技领域本身有大量进口替代的机会。
公司上下游延展的抓手：围绕高纯、工艺的上游进口替代；工艺研发作为
优势并通过投资的方式适时考虑向下游延伸。
3、创新驱动
公司坚持2005年开始提出的LAB2FAB战略，投入跟动用户在创新领域的各种
新需求。公司的研发和创新，坚持以客户需求为中心。公司在研发端尤其吸引国际资
深人才，实践下来有很好的成果。
(三)经营计划
2021年，公司将按既定战略，深耕主业，实现每一阶段性目标，防范好风
险，保持良好的持续经营能力，加强公司领先优势，为客户、员工、股东及合作方创
造价值。
1、业绩目标
各个事业部总经理和集团管理层确定了经营目标，提交了详细经营计划并
被批准。公司在交付和新增订单经营目标都维持较快增长，并在新产品研发投入和基
础设施方面持续为未来投入。
2、运营目标
1)重点布局半导体产业，推进发展生物制药及光电子板块，构筑持续竞争
力
立足半导体产业，聚焦高纯工艺系统、半导体装备、电子材料与部件、服
务（晶圆再生及部件再生服务、气化系统运维服务）四大板块，产品/服务布局覆盖
客户从新建厂、扩产、生产和技术升级不同阶段的全生命周期，近年来公司坚定持续
地以用户需求为导向，瞄准薄弱点、空白点和公司能力圈交集的领域作高密度投入，
以定力和半导体产业用户共同成长。
2021年运营目标中，公司整体的营业收入目标和新增订单目标继续保持30%
以上的增长。其中，高纯工艺系统（BU1,至纯集成）的团队重在收入持续增长，盈利
质量进一步提高；湿法设备（BU2,至微科技）的团队重在大幅提高成熟机型的市占率
，产能爬坡，毛利爬坡，持续投入新机型研发；电子材料与部件（BU3，至一电子）
就已经投资参股的电子材料企业的产品线升级对接半导体先进工艺用户，同时加大现
有电子材料特殊生产及储运平台上导入面向先进工艺所需的高阶电子材料；晶圆再生
服务方面，团队（BU2，至微科技合肥子公司）的目标是完成验证，迅速量产。医药
板块（BU4，珐成浩鑫）的团队今年的目标是继续拓展单抗、血液制品、疫苗及国际
个护及食品头部用户的高质量业务，加大工艺数字化的业务开拓。光电子板块（BU5,
波汇科技）的团队今年的目标是利用泛在电力物联网的发力继续加大电力行业拓展，
利用先进技术应用在石油石化和智慧城市生命线建设和研发的大好机会保持该细分领
域的业务高速发展，加大光器件的业务总量。
同时围绕GPI（Growth增长、Profit盈利、Innovation创新）核心目标，从
公司治理、经营和管理的层面做好系统建设工作，优化公司制度和流程，引进优秀人
才，建立业务能力突出、知识年龄结构合理的人才梯队，构筑公司长期持续发展的基
础。
2)跟动客户需求，持续提升研发
继续专注于围绕半导体和生物制药高纯工艺系统、半导体湿法工艺设备、
晶圆再生、光电子领域的技术研发，依托公司的研发中心，院士工作站，联合实验室
，广泛开展科研合作，推动行业标准的制定与更新，布局用户未来的需求，为客户提
供价值。
3)强化内控管理，优化配置资源
完善组织架构，健全和完善内控管理，以用户为中心优化业务流程和资源
配置，实现稳健经营、提高经营效益、防范化解风险、确保安全发展，适应不断变化
的外部市场。
4）投资并购及加强产业链深度合作发展
公司在构建产品/技术/服务/组织力等内在竞争力，发展内生性优势，在使
命愿景牵引下有机成长的同时，也注重通过投资并购工具，加强产业链深度合作发展
。公司会重点布局半导体、生物制药、光电子，乃至与能力圈契合的新能源领域的技
术和产业。公司是产品型组织，也是研发型组织，集团公司正升级成平台型组织，能
在科技领域打造“碗里”-“锅里”-“地里”的随着时间轴可持续的优势业务领域，
能拓展广阔的发展空间。
(四)可能面对的风险
1、行业发展风险
公司为下游泛半导体领域尤其是集成电路行业的客户提供高纯工艺系统服
务、工艺装备及服务，下游行业投资的周期性波动、受国际形势影响程度等变化对公
司的市场需求、销售毛利率及销售回款等造成直接影响，从而导致公司业绩波动。
新冠疫情是百年不遇的全球性灾难，给全世界带来灾难和不确定性，加上
之前中美贸易为显性实则是资源和利益冲突的本质之下的中美关系复杂情势，公司会
审慎关注由此可能对于产业带来的波动风险。
2、经营风险
中美贸易战依然是不确定因素，公司清洗设备部分零部件依赖进口，如贸
易战进一步加剧，使零部件渠道受阻，导致清洗设备生产、营收不及预期。
为抢占市场份额，竞争对手若采取价格战策略，将影响公司的销售及利润
。
3、人力资源和管理风险
公司致力于覆盖泛半导体产线提供从建设、投产到生产及后续技术升级的
全生命周期的服务。
经过多年的发展，公司的业务布局、项目管理、客户资源及工艺技术等方
面已有较为深厚的积累。随着公司业务板块、规模的扩张，对公司整体的风险控制和
管理方面提出了更高的要求。同时，公司目前所处的行业对高技术人才具有一定的依
赖性，集成电路等泛半导体领域的技术和产能向中国大陆转移，也带来了国内外同行
业对人才抢夺的风险。公司需要持续优化机制和建设好的企业文化吸引和留存优秀人
才。
4、各类金融风险
信用风险：对于应收账款、其他应收款和应收票据，公司设定相关政策以
控制信用风险敞口。公司基于对客户的财务状况、从第三方获取担保的可能性、信用
记录及其他因素诸如目前市场状况等评估客户的信用资质并设置相应信用期。公司会
定期对客户信用记录进行监控，对于信用记录不良的客户，本公司会采用书面催款、
缩短信用期或取消信用期等方式，以确保本公司的整体信用风险在可控的范围内。
流动风险：公司财务部门根据公司业务发展的速度与需求，通过多种途径
，以确保维持一定的备用资金，以满足短期和长期的资金需求。
汇率风险：本公司的主要业务位于中国境内，多数以人民币结算，公司境
外子公司及其业务以外币结算（如美元等），依然存在汇率风险。
四、报告期内核心竞争力分析
通过20多年在行业内的深耕，公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、
设计、制造到供应链的较强竞争优势，主要服务于一线集成电路用户，竞争对手也均
为国际厂商；湿法装备领域，公司近年投入高强度资源进行自主研发，已经具备了湿
法工艺全系列的设备，目前已经切入一线用户的高阶工艺（critical）应用，走过了
知识产权自主和设备制造自主的阶段，正进入产能爬坡和供应链自主的发展阶段；对
于14nm以及7nm工艺需求的进阶功能的研发，也都在有序进行中，预计2022年可以提
供给客户验证；波汇科技积极向光电传感及光电子元件器的新兴下游产业链延伸。公
司拥有一支专业度高、技术能力强的核心人才队伍，建立了具备竞争力的产品体系，
形成了较强的核心竞争力。
（一）技术与资质优势
截至报告期末，公司专利申请447项（其中发明专利192项），已授权专利2
52项（其中发明专利56项），软件著作权114件。
1、高纯工艺
公司已形成了以不纯物控制的高纯工艺系统为核心，涵盖泛半导体、生物
制药等下游行业前沿需求的核心技术体系，并成功完成了多项高纯工艺系统核心设备
及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司紧密跟动下游各主
要行业新技术、新工艺，一直专注于满足高端制造业客户不断提升的制程精度要求，
获得了客户的广泛认可。公司在报告期内大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、
工艺尾气处理系统、大宗气体系统等相关技术及关键部件的开发。
2、湿法设备
公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计
与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技
术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本。公司已经具备生产8-12
寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖晶圆制造中包
括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需
求，且已经在各细分领域取得一线客户的订单。
3、光电子
公司在光传感器与光电子技术方面，产品线丰富，在短、中、长、超长距
分布式光纤振动监测、分布式光纤温度监测、光纤光栅传感系统以及模式识别智能算
法、智能视频、软件平台、真空镀膜等方面具有核心技术，特别在模式识别智能算法
领域能够实现高精度、高响应、低延时的大数据分析能力，有效提升其核心产品的市
场竞争力，多项技术已达到国际先进水平。公司拥有多项发明专利，同时公司还参与
编制了多项分布式光纤传感器国家标准，自主研发产品获得了国家消防电子产品认证
、3C认证、德国VdS认证及其他国家权威检验检测部门有效性验证。
（二）客户优势
公司通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，在行业中形
成了良好的口碑和信誉，积累了一批高端客户和合作伙伴，且基本为各自行业的领军
企业或主要企业，高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰
微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户；半导体湿法设备领域如中芯国际、
北京燕东、TI、华润等；光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼
韦尔等；光通信领域，公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网（837597.O
C）、储翰科技（831964.OC）等知名企业建立了良好的合作关系。
（三）人才优势
公司拥有众多行业专家人才，该等人员大都拥有相关领域全球领先企业的
多年从业经历，技术实力强、管理水平高。公司通过提供良好的平台，促使专业人才
充分发挥其研发创新经验、生产经验和企业管理经营经验。光纤传感器、光电子元器
件行业公司秉承开放式研发理念，坚持以自主研发为主，合作研发为辅，拥有一支行
业经验丰富，背景专业、创新能力强、跨学科、国际化的技术团队。此外，公司为开
拓国际市场，成立了国际化的销售团队，引进知名行业专家共同开拓欧洲市场。
（四）业务布局与协同优势
公司以高纯工艺技术为核心，扩展至工艺系统中关键制程设备，逐步向工
艺生产耗材及核心部件、关键生产环节配套服务及智能生产系统发展，立足自身的技
术、资源的协同效应，满足核心客户生产链多环节的服务需求，力争实现公司从高纯
工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商，并积极向部分细分新兴下
游产业链延伸的战略目标。
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★2021年中期
●董事会报告对整体经营情况的讨论与分析:
一、 报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
（一）主要业务
公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法
清洗设备研发、生产和销售；光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
1、高纯工艺系统
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干
湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领
域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液
供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大
干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。公司在用户价值上聚焦六
个词：“高纯、工艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的
同时，在减排和工艺数字化领域也投入研发，有具体的产品和服务的部署，该领域的
投入兼具经济效益和社会效益。
高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控
及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客
户自购的工艺生产设备。
在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、产品服务化的布局。
高纯工艺系统的产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工
艺设备及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾
气处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及生
物制药、食品饮料等领域。
高纯特气柜高纯化学品柜
大宗气站
研磨液供应系统
前驱体介质系统
2、半导体湿法清洗设备
公司提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要
应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。
随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更
先进等级，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超
过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性；清洗设备及工艺也
必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降
低晶圆清洗成本和环境保护。
公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备（槽数量按需配置）
及单片机设备（8~12反应腔）均可以提供8~12寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备
可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一些特
殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。
在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多
反应腔、18腔等）。
公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、
自动控制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。
B200槽式设备S300单片式设备
特色工艺单片B300槽式设备
3、光纤传感器及光电子元器件
公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生
产及销售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度
监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面具
有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控系统、
光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件（滤光片、
激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用于电力电网、石
油石化、城市地下综合管廊、数据及通信等领域。
（二）经营模式
1、高纯工艺系统
通过获取客户需求与业务信息，以竞标为主、议标为辅的方式实现销售。
公司以项目为单位为客户进行定制化的设计、生产和安装，以满足不同客户的生产工
艺要求。根据不同项目要求分次进行采购为主，同时针对长交期或者产业上游元器件
交期波动的情形进行一定量集中采购以实现提前备货。中标以后，由技术中心以项目
为单位制定系统的整体设计方案；系统所用的专用设备由制造中心根据技术中心的要
求制定设备的生产工艺流程，在公司的生产车间完成；工程中心负责管道、阀门、仪
表、配件的客户现场预制，再根据设计方案的要求完成整个系统的安装。
2、半导体湿法清洗设备
公司主要采取自主研发的模式，研发流程主要包括概念与可行性阶段、Alp
ha阶段、Beta阶段、量产阶段。在概念与可行性阶段，研发部根据市场情况需求提出
新产品的构思，综合比对多种技术方案以确定适合客户需求的研发。在Alpha阶段，
公司根据市场需求进行机台设计、组装开发和验证。在Beta阶段，公司将机台送往目
标客户以完成生产线的大批量验证。在量产阶段，公司设备技术已经成熟，根据市场
需求进行量产。
公司主要根据生产计划、物料清单及相关原材料的库存情况制定相应的采
购计划，公司注重供应商的选择，目前已与全球多家供应商建立了长期、稳定的合作
关系。
公司采用“以销定产”的生产模式，根据客户的销售订单情况及相关技术
规格制定生产计划并组织生产，由公司销售部门直接销售给客户，并完成合同回款、
客户信息与结果反馈等工作。
3、光纤传感器及光电子元器件
在电力、石油石化领域，公司主要是通过招投标方式获取最终客户的销售
合同，一般的销售流程为：获取客户采购信息，确认参加报价或者竞标，按照客户要
求进行报价或者竞标，成功后获取供货资格，最后签订销售合同。
在城市地下综合管廊、轨道交通领域则是通过总承包商向最终用户提供产
品解决方案。通过总承包商获取客户合同后采购本公司的定制化产品，从而实现销售
。
公司滤光片、激光管帽等光电子元器件业务直接客户为光通信器件厂商。
根据客户需求，在完成招投标流程并中标后，公司将样品送至客户处进行质量、规格
等相关测试。待测试满足标准后，公司与客户签订销售订单，产品产出后发货至客户
处，待客户验收无误后确认收入。
公司建立了合格供应商制度，采购以项目为导向，根据项目进度编制采购
计划，对于自制产品常用材料会安排做部分安全库存备货，并结合交期和优先等级进
行以销定产的生产排产模式。
（三）行业情况说明
1、高纯工艺系统
在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初
应用在半导体行业。随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导
体产业，即皆以半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀
、CVD成膜等均需使用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系
统的大量需求。
目前少数本土供应商的产品和服务已经顺利进入全球一线客户，竞争地位
不断增强，正逐步实现进口替代，包括系统的替代、设备的替代乃至元器件层的替代
。行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，行业内呈现出高等
级高纯工艺市场集中度较高、低等级市场较为分散的竞争格局，本土主流供应商的竞
争地位不断增强。
目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹华力、
华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行
业的领先者。
2、半导体湿法清洗设备
随着半导体芯片工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流
程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进
制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加
清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得
更加复杂、重要及富有挑战性。
目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主
，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北
方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。目前至纯科技是国内能提供到28
纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。
目前公司湿法设备已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫
存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等，均为所在下游行业的领先者。其中公司单
片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前
单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。截止到2021年6月30日
，湿法设备累计申请专利133项（其中发明专利76项），已授权实用新型专利27项。
公司12寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中
国大陆以外高端清洗设备市场；公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国
内（启东）湿法设备制造基地制造，并有序展开扶持供应链的本地化。伴随自主研发
的多个型号单片式清洗设备获得商用推进，公司的投资价值和潜力进一步凸显，业务
潜力有望进一步释放。
3、光纤传感器及光电子元器件
近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能
电网、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成
为拉动全球光传感器市场增长的主要力量。光纤传感器为光传感领域下属细分子行业
，以光纤传感技术为核心技术。光纤传感技术是一种以光纤中的导波原理为理论基础
的新型传感技术，以光纤为媒介感知和探测外界被测信号。我国信息技术的迅猛发展
以及物联网产业的兴起带动了光纤传感器行业的快速发展。目前，光纤传感器的用途
已非常广泛，电力电网、输油管道、城市地下综合管廊、轨道交通、隧道、大楼整体
建筑等领域都可以通过铺设光纤与互联网连接起来，将监测信息传给任意设定的终端
进行远程监测与控制，使各类大型基础设施的安全状况可以获得连续不间断的监控，
并提供预警信息，从而构成一个大规模、高度可靠和低能耗的光联网基础感知神经网
络，融入物联网技术发展的需求当中去，推动物联网产业的发展。
光通信器件是构建光通信系统与网络的基础与核心。光通信器件按照其物
理形态的不同，可分为芯片、光有源器件、光无源器件、光模块与子系统四大类。在
光通信器件中，光模块为光电转换的核心设备，光模块由特定光器件封装而成。根据
咨询机构Ofweek的数据，光器件为光模块重要构成部分，占光模块成本约为73%。公
司主要产品滤光片、激光管帽等为光器件重要构成部分，占光器件成本约10%。
光电子元器件行业为光通信领域上游行业。光电子元器件是利用电-光子转
换效应制成的各种功能器件，是光电子技术的关键和核心部件，其技术发展对光电子
产业乃至整个电子信息产业有着重大影响，代表着现代光电技术与微电子技术的前沿
研究领域。从光电子元器件的应用来看，主要应用领域如下：①光通信领域的光通信
器件（芯片、光模块、光器件等）、光纤光缆等光通信器件；②显示领域的液晶显示
面板、OLED显示面板等光显示器件；③照明领域的LED照明芯片、LED照明模块、OLED
照明面板等光照明器件；④传感领域的图像传感器、光纤传感器、红外传感器、环境
光传感器、激光传感器等光传感器件。
二、经营情况的讨论与分析
2021年上半年，新冠病毒依然在全球肆虐，但公司仍按既定目标取得成绩
并持续健康发展。报告期内，公司半导体板块业务持续发力，生物制药和光传感光电
子业务板块发展良好，公司整体实现营业收入9.20亿元、归属于上市公司股东的净利
润1.50亿元、总资产65.18亿元、每股收益0.478元；较上年同期分别增加76.51%、39
5.51%、9.43%、301.68%。
截至报告期末，公司整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增
订单的88%。报告期新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备
新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备
新增订单2亿元。公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。
公司在2017年初上市后坚定地将有限资源全力投入半导体业务中的湿法设
备的研发和产能建设，同时投入资源将高纯工艺系统设备产能也扩充了两倍。历经三
年高强度的研发投入和产能准备，在2020和2021两年的经营中，看到了当初部署和投
入的有效产出。公司在2019年和2020年就部分长交期零部件做了预见性备货，在近两
年的供应链扰动背景下为企业持续快速稳健的交付用户订单提供了保障。公司在2020
年和2021年将供应链的在地化建设作为工作重点之一。公司高级管理层识别经营风险
，提前部署化风险措施的实践在有序而审慎地开展中，公司始终追求可持续的、健康
的快速发展。
公司BU1（至纯集成，高纯工艺系统）：截至报告期末，至纯集成获得了9.
8亿元的新增订单，一线用户持续产能的扩展给予公司持续的业务订单。高纯工艺系
统不是普通的配套类系统，而是和制程设备连为一体的工艺支持系统，其中尚有几个
介质系统在先进制程产线依然以进口为主。2017年-2019年，公司将有限的资源重点
投入到湿法设备的研发中，2020年资源稍缓解即在至纯集成也开始投入资源开启新的
研发。经过2020年的研发投入，半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS）已研发完
成，并接到核心客户的首台订单，将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段；今
年上半年，干式特殊气体排放处理设备（DryScrubber）通过多个12寸半导体工厂验
证，并在6个月内获得超过80台设备的订单；首个服务于12寸半导体的电子级大宗气
工厂处于建设高峰中，主要设备开始搬入，预计在2021年3季度进入调试，年底投入
运行。值得一提的是，此电子级大宗气工厂采用现场制气的方式在未来的10~15年向
先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。报告期内，至纯集成已经启动半导
体制程设备侧气体供应模块（IGS）的研发项目，将公司累积了超过20年的高纯介质
控制领域的技术和发展经验，服务于国内的各类干法设备厂商。至纯集成已经在武汉
，合肥，北京，无锡，深圳建设成立服务办公室，快速响应并更好的服务核心客户。
公司BU2（至微科技，湿法设备及晶圆再生服务）：在2021年上半年，至纯
的湿法设备业务保持健康增长势头。报告期新增订单达4.3亿元，其中单片设备2亿元
。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重，目前公司已可以提供28nm节点的
全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7台套1
2寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产
线。值得一提的是，报告期内，公司在更先进的14nm~7nm技术世代已接到4台套机台
多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。上半年新增订单中有17台套
是中国大陆（中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技）以及中国台湾（力
积电）等老客户的重复订单；11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销
售新突破（绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等）。湿法设备的研发仍在持续投入中
，湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。另外，公司重资投入的晶圆再生业
务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整
合，又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投
资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产，产能需要一定时间爬坡，有
望在2021年度贡献2个月度的产值。
至纯科技，作为国内本土的工业领域的制造供应商，围绕着国家产业发展
的方向，抓住集成电路支柱产业的国产化机遇，经过多年的技术研发、人员梯队建设
及资源整合，建立了包括技术研发与设计、设备在地化制造及售后服务等能力；在集
成电路领域，公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代包括半
导体湿法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务的能力；在光电子领域，公司依赖
强劲的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向，积极在国内拓展业务应用领
域，保持在市场上领先的竞争地位。
报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况
有重大影响和预计未来会有重大影响的事项
三、可能面对的风险
1、行业发展风险
公司为下游泛半导体领域尤其是集成电路行业的客户提供高纯工艺系统服
务、工艺装备及服务，下游行业投资的周期性波动、受国际形势影响程度等变化对公
司的市场需求、销售毛利率及销售回款等造成直接影响，从而导致公司业绩波动。
新冠疫情是百年不遇的全球性灾难，给全世界带来灾难和不确定性，加上
之前中美贸易为显性实则是资源和利益冲突的本质之下的中美关系复杂情势，公司会
审慎关注由此可能对于产业带来的波动风险。
2、经营风险
中美贸易战尚存在不确定因素，公司清洗设备部分零部件依赖进口，如贸
易战进一步加剧，使零部件渠道受阻，导致清洗设备生产、营收不及预期。
为抢占市场份额，竞争对手若采取价格战策略，将影响公司的销售及利润
。
3、人力资源和管理风险
公司致力于覆盖泛半导体产线提供从建设、投产到生产及后续技术升级的
全生命周期的服务。
经过多年的发展，公司的业务布局、项目管理、客户资源及工艺技术等方
面已有较为深厚的积累。随着公司业务板块、规模的扩张，对公司整体的风险控制和
管理方面提出了更高的要求。同时，公司目前所处的行业对高技术人才具有一定的依
赖性，集成电路等泛半导体领域的技术和产能向中国大陆转移，也带来了国内外同行
业对人才抢夺的风险。公司需要持续优化机制和建设好的企业文化吸引和留存优秀人
才。
4、各类金融风险
信用风险：对于应收账款、其他应收款和应收票据，公司设定相关政策以
控制信用风险敞口。公司基于对客户的财务状况、从第三方获取担保的可能性、信用
记录及其他因素诸如目前市场状况等评估客户的信用资质并设置相应信用期。公司会
定期对客户信用记录进行监控，对于信用记录不良的客户，本公司会采用书面催款、
缩短信用期或取消信用期等方式，以确保本公司的整体信用风险在可控的范围内。
流动风险：公司财务部门根据公司业务发展的速度与需求，通过多种途径
，以确保维持一定的备用资金，以满足短期和长期的资金需求。
汇率风险：本公司的主要业务位于中国境内，多数以人民币结算，公司境
外子公司及其业务以外币结算（如美元等），依然存在汇率风险。
四、报告期内核心竞争力分析
公司作为国内本土工业领域的制造供应商，围绕着国家产业发展的方向，
抓住集成电路支柱产业的国产化机遇，经过多年的技术研发、人员梯队建设及资源整
合，建立了包括技术研发与设计、设备在地化制造及售后服务等能力；在集成电路领
域，公司已经具备了在先进制程关键工序同国外竞争对手一比一替代（包括半导体湿
法设备、晶圆再生、高纯系统等产品及服务）的能力；在光电子领域，公司依赖强劲
的技术研发能力始终紧贴全球光学技术的发展方向，积极在国内拓展业务应用领域，
保持在市场上领先的竞争地位。
（一）技术与资质优势
截至报告期末，公司专利申请455项（其中发明专利200项），已授权专利2
70项（其中发明专利65项），软件著作权142件。
1、高纯工艺
公司已形成了以不纯物控制的高纯工艺系统为核心，涵盖泛半导体、生物
制药等下游行业前沿需求的核心技术体系，并成功完成了多项高纯工艺系统核心设备
及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司紧密跟动下游各主
要行业新技术、新工艺，一直专注于满足高端制造业客户不断提升的制程精度要求，
获得了客户的广泛认可。公司大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、工艺尾气处
理系统、大宗气体系统等相关技术及关键部件的开发与应用。
2、湿法设备
公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计
与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技
术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本。公司已经具备生产8-12
寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖晶圆制造中包
括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需
求，且已经在各细分领域取得一线客户的订单。
3、光电子
公司在光传感器与光电子技术方面，产品线丰富，在短、中、长、超长距
分布式光纤振动监测、分布式光纤温度监测、光纤光栅传感系统以及模式识别智能算
法、智能视频、软件平台、真空镀膜等方面具有核心技术，特别在模式识别智能算法
领域能够实现高精度、高响应、低延时的大数据分析能力，有效提升其核心产品的市
场竞争力，多项技术已达到国际先进水平。公司拥有多项发明专利，同时公司还参与
编制了多项分布式光纤传感器国家标准，自主研发产品获得了国家消防电子产品认证
、3C认证、德国VdS认证及其他国家权威检验检测部门有效性验证。
（二）客户优势
公司通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，在行业中形
成了良好的口碑和信誉，积累了一批高端客户和合作伙伴，且基本为各自行业的领军
企业或主要企业，高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰
微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户；半导体湿法设备领域如中芯国际、
北京燕东、TI、华润等；光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼
韦尔等；光通信领域，公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网（837597.O
C）、储翰科技（831964.OC）等知名企业建立了良好的合作关系。
（三）人才优势
公司拥有众多行业专家人才，该等人员大都拥有相关领域全球领先企业的
多年从业经历，技术实力强、管理水平高。公司通过提供良好的平台，促使专业人才
充分发挥其研发创新经验、生产经验和企业管理经营经验。光纤传感器、光电子元器
件行业公司秉承开放式研发理念，坚持以自主研发为主，合作研发为辅，拥有一支行
业经验丰富，背景专业、创新能力强、跨学科、国际化的技术团队。此外，公司为开
拓国际市场，成立了国际化的销售团队，引进知名行业专家共同开拓欧洲市场。
（四）业务布局与协同优势
公司以高纯工艺技术为核心，扩展至工艺系统中关键制程设备，逐步向工
艺生产耗材及核心部件、关键生产环节配套服务及智能生产系统发展，立足自身的技
术、资源的协同效应，满足核心客户生产链多环节的服务需求，力争实现公司从高纯
工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商，并积极向部分细分新兴下
游产业链延伸的战略目标。
★2020年年度
●董事会报告对整体经营情况的讨论与分析:
一、经营情况讨论与分析
2020年，虽然新冠病毒在全球肆虐，但公司仍按既定目标取得成绩并持续
健康发展。
报告期内，公司半导体板块业务持续力，光传感光电子业务板块发展良好
，公司整体实现营业收入13.97亿元、总资产59.57亿元、归属于母公司所有者净利润
2.61亿元、每股收益1.013元；较上年同期分别增加41.63%、82.88%、136.36%、122.
64%。
2020年，公司整体业务新增订单达到19.6亿元，较上年同期增加38%。2020
年整个半导体板块新增订单13.6亿元，其中湿法设备新增订单5.3亿元，较上年同期
增加211%，湿法设备订单中单片设备新增订单3.66亿元，半导体业务继续行驶在发展
快车道上。在2020年因COVID-19疫情出现而至少损失2个月时间的背景下，公司的经
营在全体至纯科技成员的努力下取得了好成绩。
（一）积极战略部署，优化组织架构
自2017年上市元年，公司投资设立了至微科技作为湿法设备事业部研发生
产销售的主体（BU2），子公司更名设立了至纯集成作为高纯工艺业务经营和发展的
主体（BU1），收购了波汇科技作为光电子业务经营和发展的主体（BU5），2019-202
0年公司并购了珐成制药与广州浩鑫，成为公司业务中的生物制药业务经营和发展的
主体（BU4），2020年投资成立了至一科技作为先进工艺材料业务经营和发展的主体
（BU3）。至2020年度结束，公司优化了整体板块和各事业部的组织架构，公司各业
务板块及事业部已完成各自子公司的创建及组织架构的优化，形成了集团职能平台和
基于客户、产品和区域三个维度的事业部制
（BU1-BU5）组织架构。各个事业部在集团宏观领导下充分授权，拥有框架
下的完全独立的经营自主权，对产品/服务的研发、设计、供应链、制造及销售活动
的一体化进行统一领导，以用户为中心开展以满足用户需求为价值创造的研发生产等
经营活动。事业部初具各自绽放态势。集团对公司的公共资源（管理资源、研究资源
、财政资源、人力资源、信息资源、试验资源、认证资源等）进行管理，就重大决策
控制和服务，以助力事业部集中优势资源和精力突破市场难点，占据市场高地，集团
对事业部进行指导和监督。公司将在研发、基础设施和职业教育方面进行长期投入。
公司进入构建全面组织能力的重要阶段，向卓越组织进发。
（二）积极应对疫情挑战，主营业务持续发力
2020年初在疫情严峻期间，公司管理层全力投入战斗，在保证安全的情况
下，有序组织，科学安排。
公司BU1（高纯工艺系统）在2月中下旬已经恢复了80%的生产能力，并前瞻
性的在武汉，无锡，上海，北京等地提前自我隔离，保证了核心客户现场持续稳定的
生产力。为客户的持续生产，甚至紧急扩产做好了充分的支持。从技术研发、产品制
造、服务等不同维度提升了对客户需求的及时充分响应。付出的同时，市场也给予了
真实的反馈。2020年所有核心客户均给予了持续的重复订单，如中芯，华力，海力士
，长鑫，士兰微，惠科等等，2020年订单数再创新高。制造能力有了极大的提升。通
过高纯工艺设备的系列化设计，模块化设计，有序调整工序，做到生产批量化，产品
弹性化。年度制造生产量环比增长超过50%，人均单位产值增长突破20%。有力的支持
了BU1的业务发展。
公司BU2（湿法设备及晶圆再生服务）首批单片湿法设备交付并多工艺顺利
通过验证。疫情背景下BU2的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台。同
时单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元。值得一提的是，BU2的湿法设备获得力
晶台湾的第二和第三次重复订单。2020年，BU2交付给客户的湿法工艺设备，发货至
全国各地，还有海峡对岸的台湾新竹。
湿法工艺设备所交付的晶圆技术节点从0.35um到28nm,用来从事先进工艺、
功率器件、微机电器件以及第三代化合物半导体等集成电路的制造与研发。
公司BU4（生物制药）顺利完成君实生物临港工厂的智能化系统交付工作、
承接英国利洁时太仓新工厂整套工艺系统模块化项目、完成重庆市重点项目极泽生物
人造熊胆粉系统工程。其中君实生物临港新工厂智能化系统是目前国内最先进的生物
制药智能化工厂之一，包含了国际最先进的PIAS,BMS/PEMS,EMS,MES,DCS,AS/RS/WMS
，OA/IT等系统。公司作为该项目智能化系统总包单位从设计到安装调试历时一年半
分阶段交付，已于2020年10月全部顺利交付完成。此项目获得业主及同行高端评价并
获得上海市奖励。
公司BU5（光传感与光器件）基于分布式光纤传感技术和激光气体探测技术
的“油气站场+线路+高后果区”的全方位保护的一体化智慧管网整体解决方案，紧贴
国家油气管网集团“智慧管网、数字管网”建设目标，在2020年国家油气主管网及省
管网取得重大突破，进入规模化应用阶段。基于光电传感技术及云端平台的智慧安全
城市解决方案完成阶段性成果，并开始在智慧燃气、智慧管廊等城市重大基础设施安
全项目中发挥重大作用。
BU5光器件业务板块是2020年5G大建设的第一年，其多年持续的研发厚积薄
发，为5G基站建设提供了大量的高端滤波片，当年出货5G基站无源模块用滤波片超过
500万片。
（三）重经营重管理，抓营收质量
公司立足高纯工艺核心技术，打造湿法清洗设备研发和制造平台，同步发
展相关工艺生产耗材及核心部件、关键生产环节专业服务及智能生产系统发展，协同
半导体领域应用技术、同类客户资源，满足客户生产链多环节、多样化的服务需求。
在招投标、商务谈判等类似流程和特点的业务间实现协同效应，打造技术
、资本、客户等资源的共享平台。
在公司秉承的价值观的基础之上，公司的人才晋升和分配机制围绕营收质
量的量化结果做持续优化，打造能打硬仗的团队。
（四）资本市场融资为战略落地提供资源保障
公司已完成非公开发行股票工作，募集资金用于半导体湿法设备及光电子
材料与器件，为公司业务的快速发展、经营战略的实现提供资金支持。
（五）积极产业布局、加强基础能力建设
报告期内启东的生产基地已经投入使用，产能逐步提升；公司合肥晶圆再
生项目基地基础建设完成，晶圆再生和腔体部件清洗及表面处理项目也已经基本通线
待试生产，合肥的工厂同时配置了为用户做湿法的工艺验证和工艺开发的联合实验室
，测试设备完全对标晶圆厂，为工艺开发打好了基础。合肥晶圆再生项目拟成为国内
第一条投产的十二英寸晶圆再生专业工艺服务，该项目以14纳米晶圆厂需求为设计基
础，将服务于中国半导体高阶市场。此次项目建成后，将形成年产168万片晶圆再生
和120万件半导体零部件再生产能。
各事业部在有限资源的条件下成功完成年初预定的业绩目标；同期内通过
投资布局半导体装备相关的化学品及耗材领域，提供下游客户生产期所需的耗材和服
务。
公司围绕设备、材料、工艺三位一体的战略，为下游客户提供全生命周期
的服务；着眼行业未来发展趋势，兼顾外延式发展，提升公司的持续发展与盈利能力
。
二、报告期内主要经营情况
报告期内，公司半导体板块业务持续发力，光传感光电子业务板块发展良
好，公司整体实现营业收入13.97亿元、总资产59.57亿元、归属于母公司所有者净利
润2.61亿元、每股收益1.013元；较上年同期分别增加41.63%、82.88%、136.36%、12
2.64%。
三、公司未来发展的讨论与分析
(一)行业格局和趋势
1、半导体行业
从全球范围来看，集成电路产业正在发生着第三次大转移，即从美国、日
本及欧洲等发达国家向中国大陆、东南亚等发展中国家和地区转移。展望未来，国家
产业政策扶持、供给侧改革等宏观政策贯彻落实，国内集成电路产业将进一步发展壮
大，同时AI、智能网联汽车、5G、超高清视频等新兴应用领域的发展，将成为半导体
市场增长的驱动力。集成电路受到全行业高度关注，产业基金与企业资本双轮驱动,
围绕智能汽车、智能电网、人工智能、物联网、5G等领域进行投资规划，进一步促进
国内集成电路产业发展。
公司作为泛半导体产业，尤其是集成电路行业在国内具有较强竞争力的服
务商之一，为集成电路产业客户提供高纯工艺系统、工艺装备和工艺材料的产品和服
务。不论是国内芯片制造用户新增FAB厂、现有产能扩产，还是工艺提升，均需采购
更多数量以及更为先进的半导体设备和配套相关高纯工艺系统，目前国内半导体设备
的厂商正在用户的信任和期待中砥砺前行努力达到具备全球竞争力水平。公司“立志
成为国内领先的半导体设备、工艺系统及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞
争。公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，“立志成为国内领先
的半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞争。
2、光传感与光电子行业
根据中国电子元件行业协会信息中心的数据，中国光传感器市场规模达778
亿元，约占全球市场规模的57%，预计到2020年将达到1,180亿元，占比进一步上升至
64%。近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能电网
、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成为拉
动全球光传感器市场增长的主要力量。
未来几年，国家储备战略性放缓，但在输油气设施建设方面投资加大，智
慧管线建设加速，管道完整性建设被各大油气管道公司提升到战略高度；国家发改委
2018年底密集批复各城市2018-2023年轨道交通线路规划，待建项目持续增加；国务
院提出管廊项目市场量化目标，各级地方政府纷纷响应启动建设综合管廊示范工程；
智慧消防平台将作为应急体系的一部分，市场需求巨大。
公司全资子公司波汇科技凭借多年来的技术积累及市场开拓，开发出一系
列具有自主知识产权的核心技术，波汇科技技术全面，产品线丰富，除在光纤传感领
域拥有核心技术外，在模式识别、深度学习、智能算法、智能视频、软件平台等方面
也具有核心技术，且多项技术已达到国际先进水平并成功打入国际发达国家市场。同
时，波汇科技作为行业内少数具有垂直集成制造能力的厂商之一，拥有从基础光学元
器件（光学滤光片、激光管帽等）、传感设备和系统到数据分析和应用集成软件平台
的研发和规模化生产能力。随着智慧城市、综合管廊的建设需求增加及光电子产业的
发展，公司光传感与光电子业务具有广阔的发展空间。
(二)公司发展战略
公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，“立志成为国
内领先的半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商”，并代表本土品牌参与国际竞争
。
至纯科技总部和研发中心位于上海市闵行区紫竹国家高新区，生产制造中
心在启东、广州和平湖，服务中心在合肥，并在日本、韩国、台湾均设有研发设计子
公司，布局上充分利用了长三角地区各地优势互补，并在研发端能利用全球的优势人
才资源。至纯科技研发机构拥有上海市市级企业技术中心、上海市市级高纯工艺创新
中心，下设联合实验室，同时公司旗下设有2个院士专家工作站（半导体领域和光电
子领域）。
至纯科技积极跟动客户的工艺需求和创新，建立了自主研发的科研创新体
系，集团目前已申请专利447项（其中发明专利近192项），已授权专利252项（其中
发明专利56项），软件著作权114项。
至纯科技努力成为这样一个企业：用户首选的合作伙伴，员工首选的发展
平台，股东首选的投资对象，行业中诚信和卓越的典范。
至纯，本着“规划一片森林，让树木自由生长”的人才发展理念，持续建
设“共建设、同分享”的机制。我们的目标是为客户、员工和社会创造持续的价值。
至纯科技的目标是在既定的领域里建立自身的专业优势为用户提供价值，以现代企业
制度为基础，成为治理、经营和管理走向成熟的卓越专业企业。
公司形成了六大事业部，且均以子公司经营主体的方式运行，分别是至纯
集成（BU1-高纯工艺系统）,至微科技（BU2-湿法设备及晶圆再生服务）,至一电子（
BU3-电子材料及部件），珐成浩鑫（BU4-生物制药工艺系统），波汇科技（BU5-光传
感与光器件）,驭航智能（BU6-工艺数字化）。各事业部作为独立经营法人主体，由
事业部总经理带领核心团队，承担各自的战略定位下的经营任务。
公司在战略实施上，分十年展望、五年规划、三年路径和年度计划来落实
。公司在上市元年根据对接资本市场后可以配置的资源预期，调整了相应的战略目标
（2018-2028）。2021年度是上市后战略规划落地的第4年。
在五年规划中，公司的目标是系统集成事业部（BU1，至纯集成）每年目标
超过10亿订单贡献；湿法事业部（BU2,至微科技）五年内有超过200台各类湿法清洗
机台的装机量；材料零部件事业部（BU3，至一电子）将投资和开发集中于28-14纳米
制程的高纯电子材料和相关零部件；湿法事业部（BU2,至微科技）投资和发展晶圆再
生服务；生物制药和食品饮料领域（BU4,珐成浩鑫）大力发展模块化工艺系统；光纤
传感业务和光器件业务（BU5,波汇科技）成为细分应用龙头；大力推广生产工艺系统
数字化软件。公司将重点打造湿法工艺联合实验室，和用户、大学一起开发工艺、装
备、材料一体化的关于特殊清洗工艺的系统解决方案。公司将不遗余力地建立良好机
制，建立国际化的人才团队，打造国际化的技术平台和科学管理的模式，汇集优秀团
队，使公司成为国内领先、国际先进的高科技集团。（特别提示：上述目标为公司五
年规划、三年路径和年度经营目标制定时的内部管理控制指标，不代表公司盈利预测
，能否实现取决于市场状况变化、经营团队的努力程度等多种因素，存在很大的不确
定性，请投资者特别注意）。
公司未来战略重点：横向延伸、上下延展、创新驱动。
1、横向延伸发展
公司十多年来，服务了数百家高科技产业的用户上千个生产单元，积累了
良好的信赖度。这些用户除了原先公司的高纯气体和化学品工艺系统为主的需求，在
诸如设备、材料、服务、智能制造等系统均有高要求的需求，很多依然都是全部进口
。
公司上市后资金和商誉有大幅度提升，针对同一客户可以提供更全面的产
品和服务。
公司横向延伸发展的抓手：围绕高纯、工艺的相关多元；围绕进口替代。
2、上下游延展
上游：高纯工艺系统以设计为核心外，因其工作表面是内表面，大量的高
纯泵阀、管件、仪表和过滤器等部件均需要进口，其中不乏高纯氟类部件是战略管控
物资，需要进口替代以保障供应链安全。
下游：高科技领域本身有大量进口替代的机会。
公司上下游延展的抓手：围绕高纯、工艺的上游进口替代；工艺研发作为
优势并通过投资的方式适时考虑向下游延伸。
3、创新驱动
公司坚持2005年开始提出的LAB2FAB战略，投入跟动用户在创新领域的各种
新需求。公司的研发和创新，坚持以客户需求为中心。公司在研发端尤其吸引国际资
深人才，实践下来有很好的成果。
(三)经营计划
2021年，公司将按既定战略，深耕主业，实现每一阶段性目标，防范好风
险，保持良好的持续经营能力，加强公司领先优势，为客户、员工、股东及合作方创
造价值。
1、业绩目标
各个事业部总经理和集团管理层确定了经营目标，提交了详细经营计划并
被批准。公司在交付和新增订单经营目标都维持较快增长，并在新产品研发投入和基
础设施方面持续为未来投入。
2、运营目标
1)重点布局半导体产业，推进发展生物制药及光电子板块，构筑持续竞争
力
立足半导体产业，聚焦高纯工艺系统、半导体装备、电子材料与部件、服
务（晶圆再生及部件再生服务、气化系统运维服务）四大板块，产品/服务布局覆盖
客户从新建厂、扩产、生产和技术升级不同阶段的全生命周期，近年来公司坚定持续
地以用户需求为导向，瞄准薄弱点、空白点和公司能力圈交集的领域作高密度投入，
以定力和半导体产业用户共同成长。
2021年运营目标中，公司整体的营业收入目标和新增订单目标继续保持30%
以上的增长。其中，高纯工艺系统（BU1,至纯集成）的团队重在收入持续增长，盈利
质量进一步提高；湿法设备（BU2,至微科技）的团队重在大幅提高成熟机型的市占率
，产能爬坡，毛利爬坡，持续投入新机型研发；电子材料与部件（BU3，至一电子）
就已经投资参股的电子材料企业的产品线升级对接半导体先进工艺用户，同时加大现
有电子材料特殊生产及储运平台上导入面向先进工艺所需的高阶电子材料；晶圆再生
服务方面，团队（BU2，至微科技合肥子公司）的目标是完成验证，迅速量产。医药
板块（BU4，珐成浩鑫）的团队今年的目标是继续拓展单抗、血液制品、疫苗及国际
个护及食品头部用户的高质量业务，加大工艺数字化的业务开拓。光电子板块（BU5,
波汇科技）的团队今年的目标是利用泛在电力物联网的发力继续加大电力行业拓展，
利用先进技术应用在石油石化和智慧城市生命线建设和研发的大好机会保持该细分领
域的业务高速发展，加大光器件的业务总量。
同时围绕GPI（Growth增长、Profit盈利、Innovation创新）核心目标，从
公司治理、经营和管理的层面做好系统建设工作，优化公司制度和流程，引进优秀人
才，建立业务能力突出、知识年龄结构合理的人才梯队，构筑公司长期持续发展的基
础。
2)跟动客户需求，持续提升研发
继续专注于围绕半导体和生物制药高纯工艺系统、半导体湿法工艺设备、
晶圆再生、光电子领域的技术研发，依托公司的研发中心，院士工作站，联合实验室
，广泛开展科研合作，推动行业标准的制定与更新，布局用户未来的需求，为客户提
供价值。
3)强化内控管理，优化配置资源
完善组织架构，健全和完善内控管理，以用户为中心优化业务流程和资源
配置，实现稳健经营、提高经营效益、防范化解风险、确保安全发展，适应不断变化
的外部市场。
4）投资并购及加强产业链深度合作发展
公司在构建产品/技术/服务/组织力等内在竞争力，发展内生性优势，在使
命愿景牵引下有机成长的同时，也注重通过投资并购工具，加强产业链深度合作发展
。公司会重点布局半导体、生物制药、光电子，乃至与能力圈契合的新能源领域的技
术和产业。公司是产品型组织，也是研发型组织，集团公司正升级成平台型组织，能
在科技领域打造“碗里”-“锅里”-“地里”的随着时间轴可持续的优势业务领域，
能拓展广阔的发展空间。
(四)可能面对的风险
1、行业发展风险
公司为下游泛半导体领域尤其是集成电路行业的客户提供高纯工艺系统服
务、工艺装备及服务，下游行业投资的周期性波动、受国际形势影响程度等变化对公
司的市场需求、销售毛利率及销售回款等造成直接影响，从而导致公司业绩波动。
新冠疫情是百年不遇的全球性灾难，给全世界带来灾难和不确定性，加上
之前中美贸易为显性实则是资源和利益冲突的本质之下的中美关系复杂情势，公司会
审慎关注由此可能对于产业带来的波动风险。
2、经营风险
中美贸易战依然是不确定因素，公司清洗设备部分零部件依赖进口，如贸
易战进一步加剧，使零部件渠道受阻，导致清洗设备生产、营收不及预期。
为抢占市场份额，竞争对手若采取价格战策略，将影响公司的销售及利润
。
3、人力资源和管理风险
公司致力于覆盖泛半导体产线提供从建设、投产到生产及后续技术升级的
全生命周期的服务。
经过多年的发展，公司的业务布局、项目管理、客户资源及工艺技术等方
面已有较为深厚的积累。随着公司业务板块、规模的扩张，对公司整体的风险控制和
管理方面提出了更高的要求。同时，公司目前所处的行业对高技术人才具有一定的依
赖性，集成电路等泛半导体领域的技术和产能向中国大陆转移，也带来了国内外同行
业对人才抢夺的风险。公司需要持续优化机制和建设好的企业文化吸引和留存优秀人
才。
4、各类金融风险
信用风险：对于应收账款、其他应收款和应收票据，公司设定相关政策以
控制信用风险敞口。公司基于对客户的财务状况、从第三方获取担保的可能性、信用
记录及其他因素诸如目前市场状况等评估客户的信用资质并设置相应信用期。公司会
定期对客户信用记录进行监控，对于信用记录不良的客户，本公司会采用书面催款、
缩短信用期或取消信用期等方式，以确保本公司的整体信用风险在可控的范围内。
流动风险：公司财务部门根据公司业务发展的速度与需求，通过多种途径
，以确保维持一定的备用资金，以满足短期和长期的资金需求。
汇率风险：本公司的主要业务位于中国境内，多数以人民币结算，公司境
外子公司及其业务以外币结算（如美元等），依然存在汇率风险。
四、报告期内核心竞争力分析
通过20多年在行业内的深耕，公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、
设计、制造到供应链的较强竞争优势，主要服务于一线集成电路用户，竞争对手也均
为国际厂商；湿法装备领域，公司近年投入高强度资源进行自主研发，已经具备了湿
法工艺全系列的设备，目前已经切入一线用户的高阶工艺（critical）应用，走过了
知识产权自主和设备制造自主的阶段，正进入产能爬坡和供应链自主的发展阶段；对
于14nm以及7nm工艺需求的进阶功能的研发，也都在有序进行中，预计2022年可以提
供给客户验证；波汇科技积极向光电传感及光电子元件器的新兴下游产业链延伸。公
司拥有一支专业度高、技术能力强的核心人才队伍，建立了具备竞争力的产品体系，
形成了较强的核心竞争力。
（一）技术与资质优势
截至报告期末，公司专利申请447项（其中发明专利192项），已授权专利2
52项（其中发明专利56项），软件著作权114件。
1、高纯工艺
公司已形成了以不纯物控制的高纯工艺系统为核心，涵盖泛半导体、生物
制药等下游行业前沿需求的核心技术体系，并成功完成了多项高纯工艺系统核心设备
及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司紧密跟动下游各主
要行业新技术、新工艺，一直专注于满足高端制造业客户不断提升的制程精度要求，
获得了客户的广泛认可。公司在报告期内大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、
工艺尾气处理系统、大宗气体系统等相关技术及关键部件的开发。
2、湿法设备
公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计
与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技
术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本。公司已经具备生产8-12
寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖晶圆制造中包
括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需
求，且已经在各细分领域取得一线客户的订单。
3、光电子
公司在光传感器与光电子技术方面，产品线丰富，在短、中、长、超长距
分布式光纤振动监测、分布式光纤温度监测、光纤光栅传感系统以及模式识别智能算
法、智能视频、软件平台、真空镀膜等方面具有核心技术，特别在模式识别智能算法
领域能够实现高精度、高响应、低延时的大数据分析能力，有效提升其核心产品的市
场竞争力，多项技术已达到国际先进水平。公司拥有多项发明专利，同时公司还参与
编制了多项分布式光纤传感器国家标准，自主研发产品获得了国家消防电子产品认证
、3C认证、德国VdS认证及其他国家权威检验检测部门有效性验证。
（二）客户优势
公司通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，在行业中形
成了良好的口碑和信誉，积累了一批高端客户和合作伙伴，且基本为各自行业的领军
企业或主要企业，高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰
微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户；半导体湿法设备领域如中芯国际、
北京燕东、TI、华润等；光传感领域如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼
韦尔等；光通信领域，公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网（837597.O
C）、储翰科技（831964.OC）等知名企业建立了良好的合作关系。
（三）人才优势
公司拥有众多行业专家人才，该等人员大都拥有相关领域全球领先企业的
多年从业经历，技术实力强、管理水平高。公司通过提供良好的平台，促使专业人才
充分发挥其研发创新经验、生产经验和企业管理经营经验。光纤传感器、光电子元器
件行业公司秉承开放式研发理念，坚持以自主研发为主，合作研发为辅，拥有一支行
业经验丰富，背景专业、创新能力强、跨学科、国际化的技术团队。此外，公司为开
拓国际市场，成立了国际化的销售团队，引进知名行业专家共同开拓欧洲市场。
（四）业务布局与协同优势
公司以高纯工艺技术为核心，扩展至工艺系统中关键制程设备，逐步向工
艺生产耗材及核心部件、关键生产环节配套服务及智能生产系统发展，立足自身的技
术、资源的协同效应，满足核心客户生产链多环节的服务需求，力争实现公司从高纯
工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商，并积极向部分细分新兴下
游产业链延伸的战略目标。
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